[发明专利]光敏材料无效
申请号: | 92112174.1 | 申请日: | 1992-10-21 |
公开(公告)号: | CN1086023A | 公开(公告)日: | 1994-04-27 |
发明(设计)人: | 洪啸吟;吴兵;毛应群 | 申请(专利权)人: | 北京化学试剂研究所;清华大学 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光敏 材料 | ||
1、一种光敏材料,它包括载有光敏涂层的支持体,所述的光敏涂层含有:
(1)一种聚合物及交联剂,在酸作用下,可交联成网状结构,交联剂含量为聚合物的5~150%wt。
(2)一种或若干种敏化剂,使光敏涂层在紫外吸收波段在近紫外区[300~500nm];
(3)一种光敏组分,它在对光辐照射曝光后可产生酸。
2、权利要求1所述的光敏材料为一种热塑性聚合物,它是多羟基聚合物,可以是环氧树脂、酚醛树脂、甲基酚醛树脂等。交联剂为醚化氨基树脂,如六甲氧基甲基三聚氰胺。
3、权利要求2所述的光敏材料,其特征在氨基树脂在酸催化下发生交换反应,交联多羟基聚合物,释放出小分子量醇。
4、权利要求1所述的敏化剂为二苯酮类化合物或者安息香类化合物或者两者之间的混合物。
5、权利要求1所述的敏化剂为二苯甲酮,取代的二苯甲酮。
6、权利要求1所述的敏化剂为安息香醚或者取代安息香醚。
7、权利要求4所述的敏化剂含量为聚合物的1~80%wt。
8、加入权利要求1所述的敏化剂后,整个光敏材料的紫外吸收波段为300~500nm。
9、权利要求1所述光敏材料特征在于光敏组分含有鎓盐,鎓盐阴离子为有机强酸根,如烷基磺酸根或芳香基磺酸根或三氟乙酸根等。
10、权利要求1所述的光敏材料组分为二苯基碘鎓对甲苯磺酸盐或三氟乙酸盐、三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐或三氟乙酸盐。
11、权利要求1所述的光敏组分为取代二苯碘鎓或取代三苯硫鎓盐阴离子为烷基磺酸根或芳香基磺酸根或三氟乙酸盐。
其中取代基R为:
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