[实用新型]激光干涉调焦装置

权利要求书

1、一种激光干涉调焦装置，包括光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]，其特征是，所述光源[1]采用激光管，扩束镜[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间；来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9]，经分束器[9]分为两束平行光，一束透过分束器[9]经反射镜[8]由原光路返回，另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6]入射到反射面[7]上，再经物镜[6]、分束器[9]返回；上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。

2、根据权利要求1所述的调焦装置，其特征是，在分束器［10］与接收面［13］之间设置透镜［11］。

3、根据权利要求2所述的调焦装置，其特征是，在透镜［11］和接收面［13］之间，或者在扩束镜［2］和准直镜［3］之间设置针孔滤波器［12］。

4、根据权利要求1或2或3所述的调焦装置，其特征是，在接收面［13］之前设置分束器［14］和接收面［15］。