[实用新型]有机玻璃真空镀膜机无效
申请号: | 92245943.6 | 申请日: | 1992-12-27 |
公开(公告)号: | CN2146493Y | 公开(公告)日: | 1993-11-17 |
发明(设计)人: | 蔡东锋;朱建明;王建明;戴晋福;卢钢;李宁 | 申请(专利权)人: | 广东真空设备厂 |
主分类号: | C23C14/20 | 分类号: | C23C14/20 |
代理公司: | 肇庆专利事务所 | 代理人: | 陈俊刚 |
地址: | 526020 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机玻璃 真空镀膜 | ||
【权利要求书】:
1、一种有机玻璃真空镀膜机,由镀膜室、真空系统、蒸发系统、电控系统及工件架组成,其特征在于:镀膜室内有蒸发源、挂梁和托脚,蒸发源间呈棱形分布、蒸发源与基体的间距为200~300mm,粘性胶带一端与挂梁连接,另一端可与基体粘接,镀膜室内的工作压力在10-2~10-3Pa之间。
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