[发明专利]清洗装置

权利要求书

1．清洗装置，包括在其底部容纳清洗液的外槽、至少可沿上下方向移动地位于所述外槽内、用于载放被清洗物的载放台、以及用于在载放了被清洗物状态，将载放台上被清洗物密闭覆盖的覆盖体，其特征在于通过将所述覆盖体放置在所述载放台上面，使所述覆盖体的下端面与所述载放台的上面密切接触、形成所述密闭覆盖、且通过真空抽吸可使所述密闭覆盖内成为减压状态。

2．根据权利要求1所述的装置，其特征在于在所述被覆体上形成为进行清洗作业必需的与外部机构连接的接口。

3．根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于将所述被覆体形成可在所这外槽内至少沿上下方向移动。

4．根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于将所述被覆体形成固定在外槽内的一定位置上。

5．根据权利要求1所述的装置，其特征在于将所述载放台形成使清洗液不能沿上下方向流通的板状，当所述载放台沿上下方向运动时，能使外槽内的清洗液得到强烈搅拌。

6．根据权利要求1或5所述的装置，其特征在于在所述载放台具备超声波振子。

7．根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述载放台具备使被清洗物回转的机构。

8．根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述被覆体通过连接管和减压机构相连。

9．根据权利要求1所述的装置，其特征在于在外槽内的下端设浸渍清洗部，在此浸渍清洗部的上部设上部作业室，在此上部作业室的上部设被清洗物的出入室。