[发明专利]清洗装置

说明书

本发明有关能对电子部件、机械部件和医疗用具等被清洗物，按清洗目的，简易地进行多种不同清洗作业的清洗装置。

传统的清洗装置如日本专利特公平3-58789号公报或特公平3551925号公报记载的发明那样，是在一个清洗槽内进行浸渍清洗、蒸汽清洗等不同的清洗作业。

这些传统装置都是使被清洗物一面移动一面进行清洗液清洗、蒸汽清洗，然而使被清洗物经常在清洗槽内露出，不能相对清洗槽另外使被清洗物在密闭状态下移动，或是在此密闭状态清洗被清洗物。

因此，以往，在对被清洗物进行蒸汽清洗场合，必需对蒸汽发生槽内的全部溶剂进行加热使发生蒸汽，需要消耗为获得必要蒸汽所需能量多得多的能量，因而不经济。

此外，用一般传统的装置采用可燃烧溶剂进行被清洗物的清洗非常危险。虽然也存在可用此可燃性溶剂进行清洗的装置，但存在装置复杂、庞大，不适宜适用的缺点。

此外，在用传统装置完成被清洗物清洗后，要对其进行干燥的场合，特别是要对被清洗物进行真空干燥的场合，需要使整个清洗槽密封，在抽出清洗液后进行真空干燥。而且，在完成真空干燥后，需取出被清洗物，将清洗液再次充填入清洗槽，进行下次清洗作业，因此，存在抽出，充入清洗液的作业复杂，作业性差的问题。

此外，上述传统装置还存在不能在一个清洗槽中连续进行清洗液清洗作业和真空干燥作业。

此外，在仅连续地进行真空干燥作业场合，需设置清洗槽和另外设置真空干燥室，将完成清洗液清洗后的被清洗物放入真空干燥室而后进行真空干燥。即使也能使用传统装置来进行此作业，然而，在清洗作业中使用溶剂的场合，在向真空干燥室移动过程中，存在产生附着在被清洗物上溶剂扩散的缺点。此外，由于需要另外设置真空干燥装置，存在整个机构庞大、价格高的缺点。

此外，如象传统装置那样，由于为使整个清洗槽成为真空状态、必需使远比被清洗物占据的空间大的空间成为真空状态，因此效率极差。

因此，本发明正是为解决上述问题而提出，目的在于提供能在一个清洗槽内高效、安全进行各种不同清洗作业的清洗装置。

为了完成上述课题的本发明的装置包括在其底部容纳清洗液的外槽、至少可沿上下方向移动位于所述外槽内、用于载放被清洗物的载放台、以及用于在载放了被清洗物状态、将载放台上被清洗物密闭覆盖的覆盖体，其特点在于通过将所述覆盖体放置在所述载放台的上面，使所述覆盖体的底部与所述载放台的上面密切接触、形成所述密闭覆盖、且通过真空抽吸可使所述密闭覆盖内成为减压状态。

若根据如上所述的本发明，在进行清洗作业时，能进行各种清洗作业。

首先，作为一例，在外槽的下底部装入清洗液，使载放被清洗物的载放台下降到此清洗液内进行浸渍。而且，用此清洗液进行被清洗物的浸渍清洗。

此浸渍清洗，若将载放被清洗物的载放台形成不能使清洗液沿上下方向流通的板状，当载放台上下运动时，由于能使外槽内的清洗液产生强烈搅拌，使被清洗物和清洗液形成强烈接触，能获得良好的清洗效果。

此外，若使载放台具备超声波振子，当使载放台在清洗液内上下运动，能一面使被清洗物和清洗液产生强烈接触，同时进行超声波清洗，使清洗效果提高。

若使载放台具备回转机构，能使被清洗物一面回转而进行清洗，即使在进行具有凹部的被清洗物清洗时，成为能向凹部确实供给清洗液，此外，在完成浸渍清洗后，也能有效进行液流切断。

在结束用此清洗液的清洗后，使载放台上升，和移动到没有清洗液的位置为止。其后，用覆盖体密闭覆盖载放台的上面，用设置在外槽内的加热装置，从外周对载放台和覆盖体进行加热。

利用此加热对残存在载放台和被清洗物内的少量清洗液加热蒸发。用此清洗液的加热蒸发，能以较少的能量对被清洗物进行蒸汽清洗作业。

在进行被清洗物的清洗作业时使用可燃性溶剂的场合，能用覆盖体对载放被清洗物的载放台进行密闭覆盖，在此密闭状态用可燃性溶剂进行清洗作业。同时，当预先向外槽内充填完全氟化液化气、氦等不燃性气体，能防止引火。此外，在万一发生引火场合，也能用外槽内的不燃性气体自动进行灭火。

当通过接口把和外部机构连通的柔性连接管和被覆载放台的覆盖体相连，能进行更多种多样的清洗作业。

例如，若使真空泵和连接管连接且使其动作，能在用覆盖体使载放台成为密闭状态，对用载放台和覆盖体形成的清洗室内的被清洗物进行真空干燥。