[实用新型]环状镜面板涂覆氮化钛设备

权利要求书

1、一种环状镜面板涂覆氮化钛设备，由壳体[3]、装在壳体[3]上的弧源头[2]、真空抽气口[4]、门[1]、反应气体输入口[6]组成，其特征在于：壳体[3]呈圆环形状，壳体[3]内部为圆环形真空工作室[7]，壳体[3]上装有转动装置[5]。

2、根据权利要求1所述的环状镜面板覆氮化钛设备，其特征在于：所述的装在壳体［3］上的转动装置［5］由与壳体［3］相接的内部装有轴承［8］、轴承［9］、密封圈［10］、密封圈［12］、压套［11］及一端接有联轴器［13］另一端接有齿轮［24］的传动轴［14］的轴承箱［15］、与齿轮［24］相啮合的内齿圈［22］、与内齿圈［22］相接的内部装有可转动的与齿轮［27］相接的自转轴［28］的护套［25］、与固定杆［32］一端相接的与齿轮［27］相啮合的外齿圈［29］及支承内齿圈［22］的底圈［21］和滚动球［33］、上圈［31］和联接上圈［31］与内齿圈［22］的不锈钢镜面板［23］组成，固定杆［32］的另一端与壳体［3］相接。