[发明专利]传送装置

说明书

                      本发明的背景1．本发明的领域

本发明一般地涉及材料传送装置。所传送的材料可包括但并不限于半导体晶体如硅片和砷化镓片、半导体封装基片如高密度互连(HighDensity)、半导体制造过程中的图象板如掩模或掩模原版以及大面积显示板如主动性矩阵液晶显示板。

2．现有技术的说明

制造半导体器件时，在多个工作站或工位之间传送精细的硅片之类物品是一个独特的搬动问题。因为硅片非常精细并有高度抛光的表面。粗暴地搬动时，硅晶片会滑动，导致表面磨损，或者如果发生碰撞，其边缘会损坏。

在现有技术中有不少传送硅晶片的装置曾被说明过。例如：

欧洲专利0512516A1公开了一种磁性装置，它包括一个位于筒形壁之内，因此可以转动和轴向运动，提供一个固定的磁性轴承用来径向固定转子，一带有驱动部分的磁性连接器置于筒形壁之中，由此可以旋转和轴向运动用于把扭矩和轴向力传递给转子。和一个可动磁性轴承被置于筒形壁中，以便于与磁性连接器的驱动部分轴向移动而径向固定转子。

美国专利3,823,836号曾公开一种装置，其中包括一个设有多条突起边沿以便夹持硅晶片的供料小车和一个设有真空吸盘的吸取装置。真空吸盘与一可使吸盘升降的升降器连结。有一支与真空吸盘耦合的水平的传送臂，被用来将硅晶片从供料小车传送到所需的工作站。

美国专利3,370,595号曾公开一种晶片传送用的装置，该装置有一可定方位的小车，用来将晶片传送到工作站和从工作站传送出来。晶片是借助一个具有定向空气射流的晶片弹出器接收器臂通过一条空气滑道进入和离开晶片小车的。晶片弹出器接收器臂控制着对晶片的驱动，使它从空气滑道出来进入小车内或从小车出来进入到空气滑道上，以便使晶片移向工作站或从工作站移出。

美国专利4,062,463、3,874,525和4,028,159号也都公开过晶片传送装置，其中或用气动部件或用夹持机构来搬动晶片。

美国专利4,666,366和4,909,701号所公开的晶片传送搬动装置具有一个铰接臂组合件，它可以伸出和缩拢，作出“蛙式”的运动，以便将一物品如晶片在多个工位之间传送。两个铰接臂可有效地耦合在一起，使得当其中一个臂被电动机驱动时两个铰接臂可以伸出和缩拢作出“蛙式”或“蛙跳”式的运动。有一平台与铰接臂耦合在一起，要传送的物品就放在其上。

美国专利4,951,601号所公开的晶片传送搬动装置具有一个铰接臂组合件，它包括一个同心轴的旋转驱动系统。但这种驱动系统所需的旋转密封件能够污染真空室。在美国专利4,951,601号的驱动系统内。内轴98装在滚筒111上，滚筒111是由装在主动轮115上的缆索113所转动的，而主动轮115又由皮带转动。看上去主动轮115似在真空室的孔内旋转的，这就需要转动密封。空心的中轴96装在滚筒101上，滚筒101是由装在主动轮100上的缆索103所转动的，而主动轮100又由皮带转动。虽然不清楚哪一个部件是在真空中，但显然有一些旋转件必须在真空室的孔内旋转，这样就需转动密封。而本发明的装置却没有这种转动密封。本发明的所有轴承都完全放在真空内，所有旋转部分也都完全放在真空内。

本发明的目的根据本发明提供一种传送装置。该传送装置可有效地减轻硅片搬运过程中其表面的磨损和破坏。

               本发明的概述

本发明提供一种传送装置，它具有一个可动的臂组件和一个驱动机构，此驱动机构包括：

带有一个室的壳体；

两个相对于室位于不同高度的、与壳体固定连接的电磁式定子，定子位于室的外侧；和

一个驱动轴组件，它至少部分地位于室中，此组件包含两根可转动的同心的轴，其中第一根轴沿第二根轴同轴线地延伸，每根都有一套永久磁体，这些磁体与一只分立的电磁式定子对准。

根据本发明的一种传送装置，具有一个可动的臂组件和一个驱动机构，此驱动机构包括：

一个支座，

一个壳体，它通过竖向运动机构连接到支座上，此壳体包括一个室区；

二只电磁式定子，它们在相对于室区的不同高度位置上同壳体相连接，此定子位于室区的外侧；和

一根至少部分地位于室区内的驱动轴组件，此组件包括两根独立的可转动的同心轴，其中第一根轴沿着第二根轴同心地延伸，每根轴都有一套永久磁铁，这些磁铁对准分立的电磁式定子。