[实用新型]一种二氧化碳激光高反射镜

权利要求书

1、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅作为Si基底(1)，然后在此光学平面上真空蒸镀一层金Au的金属反射层(2)(厚度为一千五百至二千埃)，然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe(4)，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF₃(5)，最后是由硒化锌ZnSe(7)和氧化铈CeO₂(8)组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈CeO₂紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。

2、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅Si作为基（1），然后在此光学平面上真蒸镀一层银Ag（2）的金属反射层（厚度为一千五百至二千埃），然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度（二点五微米）的氟化钇YF₃（3），四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe（4），，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF₃（5），最后是由硒化锌ZnSe（6）和氧化铈CeO₂（7）组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈紧挨空气，其厚为五百埃至一千埃。

3、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅Si作为基底（1），然后在此光学平面上真空蒸镀一层钼Mo的金属反射层（2）（厚度为一千五百至二千埃），然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度（二点六五微米）的氟化钇YF₃（3），四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe（4），四分之一波长光学厚度的氟化钇YF₃（5），最后是由硒化锌ZnSe（6）和氧化铈CeO₂（7）组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。