[发明专利]薄膜剥离方法及所用装置

权利要求书

1．一种薄膜剥离方法，剥离其一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征在于具有以下工序：吸住前述衬底进行定位；利用与薄膜一端部平行的剥离手(ピ-ルハンド)，夹持从已定位的衬底露出的薄膜的一个端部；在夹持着薄膜一个端部使该剥离手与衬底垂直的面内，以衬底面附近为圆弧中心，一边朝着前述圆弧中心调节剥离手位置，一边从衬底面离开，并且向衬底另一端方向作使薄膜一个端部向上卷起的圆弧运动；由剥离手夹持着卷起的薄膜的一个端部向衬底的另一端方向移动，进而超过前述另一端，薄膜的另一端部至少从衬底到剥离位置并向衬底外输送；在衬底外位置放开前述薄膜。

2．如权利要求1的薄膜剥离方法，其特征是，在所述使薄膜一个端部向上卷起的工序中，与所述衬底一端平行，在通过该一端附近的直线上，设置卷起所述薄膜一端部的圆弧运动的圆弧中心。

3．如权利要求1或2的薄膜剥离方法，其特征是，包括在由所述剥离手夹持的工序之前，把所述薄膜的一个端部作为前端或后端，沿进给路线在一个方向上输送所述衬底的工序，以及停止衬底的进给，并且在吸附衬底以后在与衬底平行的平面内旋转90°，在与配置在衬底进给路线侧面的剥离手相对的位置上使所述薄膜的一个端部移动的工序。

4．如权利要求1或2的薄膜剥离方法，其特征是，在所述放开薄膜的工序中，将由所述剥离手向衬底外移动的薄膜在放开时装入，依次堆积收容。

5．如权利要求3的薄膜剥离方法，其特征是，在所述放开薄膜的工序中，将由所述剥离手向衬底外移动的薄膜在放开时装入，依次堆积收容。

6．一种薄膜剥离装置，用于剥离一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征是它包括：吸附装置，吸附前述衬底，使其在水平位置固定；剥离手，设置有一对自由开闭的夹持片，夹持从用前述吸附装置固定了的衬底露出的前述薄膜一端部，同时，就这样夹持着，在与衬底垂直的平面内，一边从衬底表面向剥离方向分离，一边朝衬底的另一端方向作大体为圆弧状运动，这时，前述一对夹持片大致朝着前述圆弧中心；剥离手进给装置，沿前述衬底上方越过该衬底的另一端水平地输送夹着薄膜一端部的剥离手，所到达的位置距另一端至少是大于衬底长度的距离。

7．如权利要求6的薄膜剥离装置，其特征是，前述吸附装置包括以吸附衬底的状态在水平面内旋转的转动机构，前述剥离手的一对夹持片呈开启状态，在用前述转动机构使衬底旋转时，位于前述薄膜一端部的旋转轨迹的上下高度处。

8．如权利要求7的薄膜剥离装置，其特征是，在前述转动机构和前述剥离手之间位置，设置决定该薄膜一端部水平面内旋转轨迹上下高度位置的薄膜端部支撑台，当通过前述转动机构使衬底旋转时，从下方相对自由滑动地接触到前述薄膜一端部。

9．如权利要求8的薄膜剥离装置，其特征是，前述剥离手相对前述薄膜端部支撑台上的薄膜一端部，在夹持该薄膜一端部的位置和待机位置之间自由进出，并且前述薄膜端部支撑台备置允许前述剥离手进退的进出槽。

10．如权利要求6至9中任一项的薄膜剥离装置，其特征是，前述剥离手包括：旋转部件，在水平并且与前述薄膜一端部平行的旋转中心轴周围转动；前述一对夹持片，朝着前述旋转中心轴方向安装在该旋转部件上。

11．如权利要求10的薄膜剥离装置，其特征是，前述旋转部件的旋转中心轴通过前述衬底一端附近配置。

12．如权利要求6至9中任一项的薄膜剥离装置，其特征是，设置堆积装置，它对着前述吸附装置，由前述剥离手配置在薄膜剥离方向一侧，依次压入堆垛由剥离手剥离的大致水平地输送过来的薄膜。

13．如权利要求12的薄膜剥离装置，其特征是，前述堆积装置由下述部分构成：水平薄膜接纳工作台，其上下位置可自由调节地配置在由前述剥离手剥离的薄膜的大体水平移动轨迹的下方；上下自由移动的第1薄膜压板，它处于该薄膜接纳工作台上方，水平并且向与前述剥离薄膜的移动方向垂直方向伸展；上下自由移动的一对第2薄膜压板，它们处于前述薄膜接纳工作台上方，分置在前述第1薄膜压板的两侧，与其平行且水平地配置；分别上下驱动前述第1薄膜压板和第2薄膜压板的第1驱动装置及第2驱动装置。