[发明专利]用于裸露模板试验和腐蚀的临时密封装置无效

专利信息
申请号: 95107293.5 申请日: 1995-07-19
公开(公告)号: CN1117654A 公开(公告)日: 1996-02-28
发明(设计)人: 卡罗尔·林恩·凯厄莱依·凯必尼斯;戴维·斯科特·哈德卡斯尔 申请(专利权)人: 美国3M公司
主分类号: H01L23/10 分类号: H01L23/10
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 任永武
地址: 美国明*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 裸露 模板 试验 腐蚀 临时 密封 装置
【权利要求书】:

1.一种用于裸露模板的临时密封装置,它包括:

一基本呈矩形形状的底座,它带有一上表面和一底面及四个侧面,所述底座至少在所述两个侧面上设有凹座,以及具有用于将一模板定位在所述上表面上的装置;

多个具有适合于配装在所述凹座上的伸长形状的接触片,用于临时地将所述接触片固定在所述凹座内的装置,每个接触片具有多个触点件,所述触点在接触片的一端上形成以实现与所述模板的电接触并与所述接触片相关联的且与所述一端的一相对端有横向设置的第二端以提供沿着底座一侧的电接触;以及

一由所述底座支承的用于将模板朝向底座偏移以提供所述模板、所述触点和所述底座周边之间的电连接的力施加机构,所述力施加机构包括一接触所述模板的压力板、一用于将所述压力板推向所述底座的偏压装置,以及一与所述底座连接的,且支承所述偏压装置的盖,它用于限制盖离开底座的运动,以便所述偏压装置迫使压力板和所述模板与在接触片上的触点作电气啮合。

2.如权利要求1所述的临时密封装置,其特征在于,所述力施加机构具有一通过它而延伸的中央定位孔,孔用于容纳一模板支承的探测器,而所述探测器用于将一模板装到所述底座上以与所述接触片实现电接触并将所述压力板定位。

3.如权利要求1所述的临时密封装置,其特征在于,一安装在所述底座上的保护盖并可相对于底座运动以保护所述力施加机构免于受到由所述密封装置所承受的侧向和垂直压力。

4.一种用于裸露模板、适合于将所述模板置于试验和腐蚀插座上的临时密封装置,所述的密封装置包括:

一具有装配在一插座上的矩形形状的底座件,所述底座件具有限定一支承裸露模板的表面的装置并有多个形成周向表面的侧面,至少有两个相对侧面具有用于支承爪件的锁扣件;以及

一盖组件,它包括一可移动地支承在一盖上的压力板,和用于将所述压力板推离所述盖的偏压装置,所述的盖具有将压力板的运动限制在离开所述盖的方向上的装置以及设在所述盖上的爪装置,所述爪装置用于与所述底座件的所述锁扣件啮合以将所述盖组件可释放地固定于所述底座件并使所述偏压装置处于压缩下,所述爪装置在由与模板的支承面相对的底座件的侧面啮合时可脱开所述锁扣件,这样所述的盖组件可以机械地脱开所述底座件。

5.如权利要求4所述的临时密封装置,其特征在于,所述盖组件具有一穿过盖组件而延伸的中央定位孔,该孔用于容纳由一模板支承的探测器,所述探测器用于将一模板装到所述底座件上,并使所述盖组件和压力板定位。

6.如权利要求4所述的临时密封装置,其特征在于,一保护盖在所述盖组件周围设置,所述保护盖设有与所述盖上的爪装置邻接的爪装置以将所述可释放的保护盖固定在所述盖组件上,设在所述保护盖上的爪装置被定位在所述盖上的爪装置释放时脱扣。

7.如权利要求4所述的临时密封装置,其特征在于,所述底座在其周边上形成有多个凹座,所述密封装置还包括多个具有适合于装配在所述凹座内的伸长形状的接触片,用于将所述接触片临时地固定在所述凹座中的装置,每个接触片包括多个在一端上形成的且与所述模板电接触的触点,以及与所述接触片有关的且相对于所述一端具有横向定位的第二端,以提供沿着所述底座件一侧的电接触。

8.如权利要求7所述的临时密封装置,其特征在于,所述的密封装置还包括一与所述模板直接构成电接触的,并与在所述接触片上的各触点的所述一端形成电接触的一插入件。

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