[发明专利]自动基片装载装置

权利要求书

1.一种自动基片装载装置，具有一安装在基件顶部中央的晶片盛放部，可沿X、Y轴移动，用以在其上放置锯切晶片；一安装在晶片盛放部上方的像机部分，用以在晶片沿X、Y轴移动移动一步时确定晶片中的基片是好是坏，其中，所述装置包括：

一个盘装/卸部，设置在晶片盛放部一侧，用于存放盛有晶片的盘或空盘；

一个盘传送部，设置在盘装/卸部和基片装载位置之间，用于传送盘；以及

一个基片传送部，用于将由像机部分确定为好的基片运送到基片装载位置以将基片装入盘。

2.按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述晶片盛放部包括：

装在一个基件上的一个X-Y自动装置：

一个旋转架，以可旋转方式装在所述X-Y自动装置的轴上，并且其位置由紧固在一个安装夹板上的螺栓的拧紧力确定；

装在轴上从而与所述旋转架的下端相连的一个基架，用以防止所述旋转架因其自重而掉落；

装于所述旋转架顶部的一个伸展台，该伸展台分为一个可动伸展台及固定伸展台；

与所述旋转架可转动地接合的螺杆，用以在步进电机受驱动时升降所述螺纹连接的可动伸展台；和

固定于所述固定伸展台上部、并与其上附着有所述晶片的一个金属薄片相接触的一个胀环，在所述可动伸展台降下时将所述金属薄片张紧。

3、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部包括：

其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；

装在所述第一储仓下方一侧、用于分离第一储仓中最低位空盘的一个第一传送器；

装于所述第一储仓下方、用于就在所述第一传送器分离最低位空盘之前托住位于最低位空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；

装于所述第一储仓一侧、用以存放盛有基片的盘的一个第二储仓；

装于所述第二储仓下方一侧、将盛有基片的盘向上推入所述第二储仓的一个第二传送器；和

弹性安装在所述第二储仓下方内部、能够伸出和回缩以便防止第二储仓的盘子掉落的一个挡块。

4、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述第一和第二传送器通过第一和第二缸升降，导向块安装在所述第一和第二储仓上，而连接件被固定在所述的第一和第二传送器上，当所述第一和第二传送器通过第一和第二缸作上下移动时所述连接件受所述导向块的引导。

5、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中安装在所述第二储仓下方内部的挡块因配有螺旋弹簧而呈弹性。

6、如权利要求3所述的自动基片装载装置，其中在所述第一储仓下方两侧装有传感器，用于当所述第一传送器到达最低行程点时检测在所述第一传送器上是否一次装上了多于一个的空盘。

7、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述盘传送部包括：

固装于基件上的一个X-Y自动装置；

装于该X-Y自动装置上、当所述X-Y自动装置受驱动时侧向移动的一个盘基件，其上装有来自所述盘装部的一个空盘；

设置在所述盘基件顶部周边上、用以确定所装空盘的位置的一个位置确定件；

弹性安装、可移向所述盘基件一侧、用于夹紧所装空盘的一个夹子；和

设置在所述盘装/卸部上、用于当所述夹子的下端与之接触时将夹子撑开的导轨。

8、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部由一个主支承件支承，而所述夹子与之相接触的导轨设置在所述主支承件内部。

9、按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述夹子下端装有轴承，所述轴承与所述导轨相接触。

10、按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述盘基件包括有检测装置，该检测装置有因空盘重量而转动的一个传感件和用于传感该传感件转动的一个传感器。

11、按权利要求10所述的自动基片装载装置，其中所述传感件的顶部形成有一个斜面。

12、按权利要求10所述的自动基片装载装置，其中，所述传感件用螺旋弹簧弹性安装，空盘未装在所述盘基件上时所述传感件的顶部在所述螺旋弹簧的弹力作用下位于位置确定件的里侧。