[发明专利]自动基片装载装置

说明书

本发明涉及一种用于锯切晶片制造加工中完成的晶片并将其自动地装载在盘中的自动基片装载装置，尤其是一种只将合格的锯切基片选出并自动装入空盘、再将该装满基片的盘装入储仓的一种自动基片装载装置。

图1A，1B和2分别是一种普通基片装载装置的前视、平面和侧视图，参见图1A、1B及2，在基件1的顶部中央，载放锯切晶片2的转台3装置成可沿X和Y轴移动。用于分辨各个锯切晶片好坏的像机4装在转台的正上方。装在转台后边的是将合格基片传送至盘中、可作180°内旋转的一个拾器5。基件1后方，一个X轴自动装置7被装到安装架6上。Y轴自动装置8被连接到X轴自动装置上。带有许多(8个)盘9的一个盘基件10装于Y轴自动装置上。

切成单个基片的晶片2承载于转台3上，同时盘9放置在于盘基件10上形成的多个凹窝内。在此状态下，当通电以操纵该装置时，转台3便沿X和Y轴移动，转台正上方的像机4遂分辨锯切基片是好是坏。基片若是好的则被吸到拾器5上并逐一地装在盘9上。

当有一个基片装上盘9，该盘则由X和Y轴自动装置7和8移位，同时转台也移动。在此状态下，这样被认为是合格的其它的基片遂可顺序地转送到盘上。

全部基片装到基件10上的盘9上后，盛有基片的盘就由操作者从盘基件10分离并放至它处。空盘再装在盘基件上以使上述过程得以重复。

但在这种普通装置中，由于必得由操作者在盘基件上的盘中装满基片后以手工方式替换该盘，因此工时延长从而降低了生产率。

因此，为解决这个问题，本发明的目的是能提供一种能自动只选合格基片并将其放入空盘，而无需手工更换盘子的自动基片装载装置。

为实现本发明的目的，提供了一种自动基片装载装置，具有一安装在基件顶部中央的晶片盛放部，可沿X、Y轴移动，用以在其上放置锯切晶片；一安装在晶片盛放部上方的像机部分，用以在晶片沿X、Y轴移动一步时确定晶片中的基片是好是坏；一个盘装/卸部，设置在晶片盛放部一侧，用于存放盛有晶片的盘或空盘；一个盘传送部，设置在盘装/卸部和其片装载位置之间，  用于传送盘；以及一个基片传送部，用于将由像机部分确定为好的基片运送到基片装载位置以将基片装入盘。

该盘装/卸部包括其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；安装在第一储仓下方一侧用于分离第一储仓中最下面的空盘的第一输送器；装在该第一储仓下面用以就在第一输送器分离最下面的空盘之前托住位于最下面的空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；装在第一储仓一侧上用以盛放装满基片的盘的第二储仓；以及装在第二储仓下方一侧用以将盛有基片的盘推入到第二储仓内的一个第二输送器。

基片传送部包括：在一个预定旋转范围内侧向移动的一个拾取块，以及固定于该拾取块前端用于吸取并移动基片的一个拾器。

盘传送部包括：安装到基件上的一个X-Y自动装置；固定于X～Y自动装置上、当X-Y自动装置被驱动时作侧向移动、且其上装有来自盘装部的一个空盘的一个盘基件；以及以弹性方式安装、可移至该盘基件一侧并用以夹紧放置的空盘用的一个夹子。

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明，其中：

图1A和1B分别为一种普通基片装载装置的前视及平面视图；

图2为图1中装置的右侧视图；

图3为本发明的自动基片装载装置的前视图；

图4为图3装置的左视图，其中部分构件被省略；

图5A、5B和5C分别为本发明的晶片盛放部的平面图，主视图和左视图；

图6A和6B分别为本发明的盘装/卸部及盘传送部的平面视图及主视图；

图7为图6A、6B中重要构件的主体图；

图8A和8B为本发明像机的主视图和右视图；

图9A、9B和9C为基片传送部的平面视图，主视图及右视图，局部作剖视；以及

图10为用以解释基片传送部动力传输的一张简图。

以下将结合附图说明本发明的一个优选实施例。

参见图3及4，本发明的自动基片装载装置包括用以盛放一个锯切晶片2、装在基件1顶部中央的一个晶片盛放部11，其上顺序装载有空盘9和装有基片的盘9a的一个盘装/卸部12，用于将这些盘传送至该盘装/卸部或传送至装基片处的一个盘传送部13，用作鉴定装在晶片盛放部上的基片是好是坏的一个像机14，以及用以吸取合格基片并将其传送至安放在盘传送部上的盘上去的一个基片传送部15。本发明大略分作五部分。

下面参照图5A、5B和5C对晶片盛放部11作详细说明。