[发明专利]通过容纳焊膏堆积使衬底隆起的方法无效
申请号: | 95116346.9 | 申请日: | 1995-08-07 |
公开(公告)号: | CN1083155C | 公开(公告)日: | 2002-04-17 |
发明(设计)人: | M·K·施韦伯特;D·T·坎贝尔;M·海丁格;R·E·克拉夫特;H·A·范德普拉斯 | 申请(专利权)人: | 艾加伦特技术公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/768;H01L23/488;H01L23/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 罗才希 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通过 容纳 堆积 衬底 隆起 方法 | ||
1.一种在具有多焊接点的衬底上形成焊料隆起物的方法,包括:
选择一种不可浸润的焊料的掩模,该掩模具有第一和第二的平面侧;
当掩模放置于接近衬底上时,使位于选择的掩模的侧面之间的开孔与焊接点对准以形成预制的掩模;
将预制的掩模与衬底对齐,以使掩模第一平面侧平放在衬底上,且使掩模对准衬底,将开孔置于焊接点上;
用焊接用的金属粉末和焊药填塞开孔直至掩模的第二平面侧,以使焊接用的金属粉末和焊药接触焊接点,且充分地填塞开孔;
加热衬底、掩模及焊接用的金属粉末和焊药以使开孔内的焊接用金属粉末融合成焊料隆起物,然后冷却衬底和焊料隆起物,使焊料隆起物成形并固定在焊接点上。
2.根据权利要求1的方法,还包括预混合焊接用的金属粉末和焊药以包括锡和铋的粉末,并将含有焊药的粉末混合而形成混合物,使加热时该混合物融合而形成基本上具有均匀组分的焊料。
3.根据权利要求1的方法,其中选择掩模包括选择非金属掩模。
4.根据权利要求1的方法,其中选择掩模包括选择硅基掩模。
5.根据权利要求1的方法,其中选择掩模包括选择具有用于形成焊料球的开孔的掩模,所说焊料球之间的间距为150-350微米。
6.根据权利要求1的方法,其中
加热衬底、焊接用金属粉末和焊药包括仍将掩模对准于衬底,加热衬底、掩模、焊接用金属粉末和焊药;和
所说方法还包括在冷却后从衬底上移去掩模,留下的焊料隆起物粘附在焊接点上,该焊接点是用于随后使用焊料隆起物将衬底电气装配到另外的装置上。
7.根据权利要求1的方法,其中还包括:
加热衬底、焊接用的金属粉末和焊药包括仍将掩模对准衬底,加热衬底、掩模、焊接用金属粉末和焊药;和
所说方法还包括冷却后从衬底上移去掩模,使加热以后焊料隆起物保持粘附在焊接点上,该焊接点是用于随后使用焊料隆起物将衬底电气装配到另外的装置上。
8.根据权利要求1的方法,其中所说的方法还包括:
衬底和焊料隆起物冷却后,将第二衬底置于焊料隆起物顶上,使焊料隆起物连接两衬底以此提供两衬底之间的电气的互相连接。
9.根据权利要求8的方法,其中所说方法还包括:
衬底和焊料隆起物冷却后,在隆起物附近未填满处堆积焊料,结合电气连接使两衬底互相连接。
10.根据权利要求1的方法,其中选择掩模包括选择一种聚合物掩模。
11.根据权利要求1的方法,还包括预混合焊接用的金属粉末和焊药而形成含有大于40%重量的铅的焊料隆起物。
12.根据权利要求1的方法,其中选择掩模包括选择粘附于衬底的薄膜物质。
13.根据权利要求1的方法,该方法包括:
当掩模置于邻近衬底时,在选择的掩模对准焊接点的位置上时使在掩模上形成多孔,以形成预制的掩模,并以焊接用的金属粉末和焊料装填开孔使焊接用的金属和焊料充分地填塞开孔;
将预制的掩模对准衬底,使开孔压在焊接点上,加热衬底和掩模,使焊料隆起物粘附于焊接点上,然后冷却焊料隆起物;和
从衬底上移去掩模。
14.根据权利要求13的方法,其中选择掩模包括选择非金属掩模。
15.根据权利要求13的方法,其中选择掩模包括选择硅基掩模。
16.根据权利要求13的方法,其中选择掩模包括选择聚合物掩模。
17.根据权利要求13的方法,其中加热衬底和掩模包括将掩模对准衬底,加热衬底、掩模、焊接用的金属粉末和焊药以使焊料球在焊接点上融合。
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