[发明专利]自动操纵装置和利用它测量器件的方法

说明书

                      技术领域

本发明涉及一种器件自动操纵装置(automated device-handlingapparatus，常称作automatic handler或autohandler；本文将这三者均译作“(器件)自动操纵装置”-译注)，用于将半导体器件、滤波器、振荡器之类的电子元部件(下面总起来称作“器件”)从装载器部分输送到测试部分并进行操纵或处理，而在测试后在测试结果的基础上对测试过的器件进行分类，本发明同时涉及一种利用该器件操纵装置来测量器件的方法。本发明特别涉及一种装有检查器件外观用的外观检验部分的器件自动操纵装置，以及一种利用该器件操纵装置来测量器件的方法。

                      背景技术

许多用于通过将预定测试模式的信号外加到器件上而测量待测试器件(通常称作DUT)的电学特性的器件测试装置(下面将称作器件测试器)有一个整体组合于其中的器件自动操纵装置。此处称作“自动操纵装置”的是自动的器件操纵(输送和操纵或处理)装置，用于将器件自动地运出已由使用人存放在操纵装置的装载器部分中的装有待测试器件的一个盘子(存放盒，通常称作顾客盘或用户盘)，在装有器件测试器的测试头的测试部分中测试器件的电学特性，而后在测试结果的基础上对测试过的器件进行分类并将已分类的器件自动地安置在卸载器部分的相应盘子中。

先有技术的自动操纵装置包括三种类型：(1)倾斜式自动操纵装置，其中器件在它可以由重力而沿其滑动的移动路径中的一个预定位置处接受电学测试，并在卸载部分中在测试结果的基础上进行分类；(2)水平式自动操纵装置，其中一个装有待测试器件的盘子在一个轨道之类的水平平面上移动，而待测试器件受到操纵(转移/输送和处理)并在一个预定位置上受到测试，随后在测试结果的基础上进行分类；以及(3)一种自动操纵装置，其中当一个盘子被置于一个预定位置时，存放在盘子中的待测试器件受到自动操纵和测试，随后在测试结果的基础上进行分类。

虽然本发明可以应用于上述类型中的任何一种，但为了阐述方便起见，将应用于属于类型(3)的范围的自动操纵装置而进行说明，其中当一个装有半导体器件特别是集成电路的盘子被置于装载器部分中的一个预定位置上时，待测试器件(集成电路)受到自动操纵和测试，随后在卸载部分中的测试结果的基础上进行分类。

首先，参照图4，将说明在1993年11月4日提出申请的日本专利申请No.Hei5-275570(译注：平5-275570)(275570/1993)中公开的一种自动操纵装置，该专利的题目为“测试集成电路的集成电路输送装置”，转让给了本申请的同一受让人。虽然该自动操纵装置被设计来操纵作为半导体器件典型的集成电路(IC)，但它同样能用于操纵集成电路以外的半导体器件和其它器件。

图示的自动操纵装置包括一个横跨并可动地安装在沿X方向(如图4中从右到左)延伸的第一对轨道11上的第一可动臂12和一个安装在可动臂12上用于沿该臂纵向即沿Y方向移动的第一小车13。在小车13的移动范围内，在操纵装置的前部为从图4中左侧开始相继设置的第一分类部分24、卸载部分23、装载部分14和空盘部分26，而在操纵装置的后部为从图4中左侧开始相继设置的第二分类部分25和将待测试器件加热到预定温度用的加热板15。可从理解，当希望将待测试器件冷却至预定温度时，将设置冷却板机构。一些自动操纵装置使用一个恒温箱或恒温槽，以便将待测试器件保持在设定的预定温度。

虽然没有图示，但每个装有多个排列的待测试器件的盘子在装载部分14中互相叠置。可动臂12和小车13从叠置的最上层盘子中取出一个或多个待测试器件(通常利用吸住)并将其转移到加热板15上以将其加热到测试温度。而后利用可动臂12和小车13将加热的待测试器件从加热板15上转移到第一缓冲级(中间平台)16上。