[发明专利]洗涤剂及洗涤方法无效
| 申请号： | 95191326.3 | 申请日： | 1995-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1076396C | 公开（公告）日： | 2001-12-19 |
| 发明（设计）人： | 毛冢健彦;板野充司;久保元伸 | 申请（专利权）人： | 大金工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;C11D7/28;C11D7/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗涤剂 洗涤 方法 | ||
1.一种洗涤剂，其特征在于，由0.1～4重量％的氢氟酸、50～1500ppm浓度的以下述通式(1)表示的表面活性剂和50～100000ppm浓度的以下述通式(2)或者(3)表示的表面活性剂和剩余量的水组成，
RfCOONH4 (1)
式中Rf是碳原子数5～9的含氟烃基，
Rf’O(CH2CH2O)nR (2)
Rf’(CH2CH2O)nR (3)式中Rf’是碳原子数5～15的含氟烃基，R是氢或碳原子数1～4的烷基，n是5～20的整数。
2.如权利要求1所述的洗涤剂，其中通式(1)表示的表面活性剂的浓度是200～600ppm。
3.如权利要求1所述的洗涤剂，其中通式(2)或(3)表示的表面活性剂的浓度是300～50000ppm。
4.如权利要求1所述的洗涤剂，其中氢氟酸的浓度是0.2～1.5重量％。
5.如权利要求1所述的洗涤剂，其中通式(1)表示的表面活性剂是C7F15COONH4。
6.如权利要求1所述的洗涤剂，其中通式(2)表示的表面活性剂是C9F17O(CH2CH2O)mCH3，其中m是5～20。
7.如权利要求1所述的洗涤剂，其中通式(3)表示的表面活性剂是C9F17(CH2CH2O)nCH3，其中n是5～20。
8.如权利要求1所述的洗涤剂，其中从过氧化氢、盐酸、硝酸、醋酸、硫酸及磷酸中选择的至少一种化合物与氢氟酸同时使用或代替氢氟酸使用。
9.硅片表面的洗涤方法，其特征在于，在洗涤硅片表面时，使用权利要求1～7记载的洗涤剂。
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