[实用新型]薄膜电容式湿敏装置无效
| 申请号： | 95222307.4 | 申请日： | 1995-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN2243659Y | 公开（公告）日： | 1996-12-25 |
| 发明（设计）人： | 孙晴;张树琨;赵国强 | 申请（专利权）人： | 电子工业部第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 哈尔滨专利事务所 | 代理人： | 张学敏 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 电容 式湿敏 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种薄膜电容式湿敏装置，它是由硅基片(1)、绝缘层(2)、光刻下电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜(5)、光刻上电极(6)、内引线(7)、管座(8)、管帽(9)、外引线(10)、芯片(11)组成，其特征是：芯片(11)粘接在管座(8)上，光刻下电极(3)在上电极引出(4)中，上电极引出(4)为形，绝缘层(2)上面是光刻下电极(3)和上电极引出(4)，下面是硅基片(1)，感湿膜(5)上面是光刻上电极(6)，下面是光刻下电极(3)和上电极引出(4)，芯片(11)是由硅基片(1)、绝缘层(2)、光刻下电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜(5)、光刻上电极(6)组成，内引线(7)与上电极引出(4)和下电极(3)连接。
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