[发明专利]真空镊子无效
| 申请号： | 96105164.7 | 申请日： | 1996-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1152534A | 公开（公告）日： | 1997-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李敏镐;赵显祥 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 镊子 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于传送半导体晶片的真空镊子，其特征在于，包括具有一个与真空泵的抽空管道(20)相连接的前表面扁平的壳体(11c)和二个从该壳体延长的扁平的延长部(11a、11b)的呈“Y”形的真空吸头(10)，和
设于前述真空吸头(10)的扁平的前表面部的至少三个吸附部(12、14、16)。
2.根据权利要求1的真空镊子，其特征在于，上述至少三个吸附部(12、14、16)各自具有至少二个支持台和一个吸入口。
3.根据权利要求2的真空镊子，其特征在于，上述支持台具有与上述吸附部的深度相应的高度，并被设计成长方形。
4.根据权利要求1或2的真空镊子，其特征在于，上述三个(12、14、16)吸附部分别与上述壳体(11c)和延长部(11a、11b)相对应而设置。
5.根据权利要求1的真空镊子，其特征在于，上述真空镊子(10)是由聚四氟乙烯和可塑性材料制成的。
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