[发明专利]集成电路输送装置无效
申请号: | 96112137.8 | 申请日: | 1996-08-04 |
公开(公告)号: | CN1095993C | 公开(公告)日: | 2002-12-11 |
发明(设计)人: | 清川敏之 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱德万测试 |
主分类号: | G01R31/01 | 分类号: | G01R31/01;H05K13/04;B65G47/91 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 杨梧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 输送 装置 | ||
1.一种半导体器件输送装置,包括:
具有向上倾斜表面的定位槽部分,所述定位槽部分具有一个间隙,从而使得落入所述定位槽部分之中的一个半导体器件可以在水平方向上移动;
具有器件吸取装置的器件吸盘部件,用于利用吸力把落入所述定位槽部分内的一个半导体器件吸取出来;和
一个围绕所述器件吸取装置的导引部,用于导引所述器件吸取装置,从而使它可以利用吸力在一个预定的吸取位置处吸取一个半导体器件,所述导引部在其下端处具有多个向下伸出的棱部分;
其特征在于,所述导引部向下伸出的棱部分中的每一个的形状与所述定位槽部分的多个向上倾斜表面中对应的一个相一致,所述导引部具有在所述导引部向下伸出棱部分的基础部分处设置的平板部分,当所述导引部向下伸出的棱部分与所述定位槽部分向上倾斜的表面无任何间隙地相互配合时,所述平板部分紧贴在所述定位槽部分的上端表面上。
2.如权利要求1所述的半导体器件输送装置,其特征在于,所述定位槽部分形成在用于将需要测试的一个器件输送到测试区的一个转盘上,用于导引器件吸取装置的所述导引部是一个管脚推压器,该推压器用于将半导体器件的管脚端朝一个插座推压,以在测试时使所述管脚端和插座电接通。
3.如权利要求1所述的半导体器件输送装置,其特征在于,所述定位槽部分形成在用于传送测试后半导体器件的一个传送臂上,用于导引器件吸取装置的所述导引部是围绕运载臂器件吸取装置的一个器件导引部,所述运载臂用于把由所述传送臂传送的半导体器件装载到预定的托盘上。
4.一种半导体器件输送装置,其特征在于,包括:
器件载运装置,在它上表面中有多个定位槽,每个凹槽包括向上倾斜的表面,用于将一半导体器件保持在其中,
器件吸盘,包括:
器件吸取装置,通过吸取拾取保持在所述定位槽中的半导体器件;
导引装置,包围所述器件吸取装置,导引器件吸取装置与所述定位槽对正,所述导引装置具有平面部分和向下突出部分,每个突出部分从所述导引装置的平面部分向下突出,每个所述导引装置的向下突出部分在其上有向下倾斜面,它与所述定位槽的相应的一个向上倾斜面相一致,以使得所述导引装置的突出部分与所述定位槽的向上倾斜面接合而在它们之间无大的间隙,并且在所述导引装置的突出部分的向下倾斜面与所述定位槽的向上倾斜面之间以不大的间隙接合时,导引装置的平面部分与所述器件运载装置上表面小间隙接合。
5.根据权利要求4所述的半导体器件输送装置,其特征在于,所述器件运载装置是一转盘,它的上面具有将要测试的半导体器件保持在其中的所述定位槽,并且包围所述器件吸取装置的所述导引装置是管脚推压器,工作中向一插座推压半导体器件的管脚,使得在测试时所述管脚端与插座电接触。
6.根据权利要求4所述的半导体器件输送装置,其特征在于,所述器件运载装置是传送臂,向一运载臂传送已测试的半导体器件,并且包围所述器件吸取装置的导引装置是包围运载臂器件吸取装置的装置导引器,所述运载臂的装置的导向器可使所述运载臂的器件吸取装置与所述传送臂的定位槽对正。
7.一种半导体器件输送装置,包括:
一器件吸盘,包括:
一器件吸取装置;
一导引器,包围器件吸取装置并具有平面部分和从平面部分突出的突出部分;
一器件运载器,具有一上端面,在上端面中多个定位槽,分别用于将要传送的半导体器件保持在其中;
所述导引器的每个所述突出部具有一向下倾斜面;
每个所述定位槽具有向上倾斜面,它与彼此相应的突出部的向下倾斜面相一致;
其特征在于,突出部的所述向下倾斜面紧靠定位槽的相应向上倾斜面,它们之间间隙不大,以导引器件吸取装置使之与定位槽对正,并且所述导引器的平面部分紧靠定位槽的上端面,它们之间间隙不大,防止突出部在定位槽内过配合。
8.根据权利要求7所述的半导体器件输送装置,其特征在于,突出部分紧靠定位槽,平面部分紧靠上端面并与之齐平。
9.根据权利要求4所述的半导体器件输送装置,其特征在于,所述的定位槽具有的空隙允许落入到定位槽中的半导体器件在所述定位槽内可稍微在水平方向移动。
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