[发明专利]基片倒棱加工装置

权利要求书

1.一种在基片端面磨削加工倒棱的基片倒棱加工装置，其特征在于，具有：

带有砂轮、用该砂轮在上述基片端面上加工倒棱的倒棱加工机、

依次测定用上述倒棱加工机加工的基片倒棱长度的测定装置、

从该测定装置测定的结果算出上述砂轮进给量的修正量的测定处理装置、以及

控制上述倒棱加工机的动作、根据来自上述测定处理装置的修正量来改变上述砂轮进给量的控制装置。

2.根据权利要求1所述的基片倒棱加工装置，其特征在于，上述测定装置可从基片的正面侧或反面侧测定倒棱长度。

3.根据权利要求1或2所述的基片倒棱加工装置，其特征在于，上述测定装置由对基片的倒棱长度进行摄像的摄像机和将用摄像机摄成的图像进行数字变换后进行图像处理并测定倒棱长度的图像处理装置组成。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的基片倒棱加工装置，其特征在于，上述测定处理装置判定测定的倒棱长度是否合适，在判定为不合适的情况下输出废弃信号，上述控制装置根据上述废弃信号控制倒棱加工机、将倒棱长度不合适的基片废弃于机外。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的基片倒棱加工装置，其特征在于，上述基片用非金属材料构成。

6.根据权利要求5所述的基片倒棱加工装置，其特征在于，上述基片用玻璃状碳素材料构成。