[发明专利]半导体器件试验装置及半导体器件试验系统

权利要求书

1.一种半导体器件试验系统，包括：

具有试验装置部和搬运器部的半导体器件试验装置；和

设置在主计算机中的收纳信息存储装置；

所述试验装置部具有测试部，所述搬运器部具有加载部和卸载部，其中

所述半导体器件试验装置是这样设计的：多个要试验的半导体器件被传送到所述搬运器部的加载部，在加载部该所述搬运器部的加载搬运器将所述半导体器件从通用托盘搬运到测试托盘，所述测试托盘被传送到所述试验装置的测试部，将放置于所述测试托盘中的半导体器件与配置在所述测试部的上述试验装置的测试头导电接触而测试半导体器件的工作状况，测试终了后，将放置有试验完的半导体器件的测试托盘从所述测试部搬出至搬运器部的卸载部，以所述搬运器部的卸载搬运器将所述测试托盘的试验完的半导体器件从所述测试托盘移运到通用托盘，所述半导体器件试验系统的特征在于，

所有已被试验的半导体器件在卸载部由所述搬运器部的卸载搬运器从所述测试托盘移运到通用托盘，而不进行分类；

在卸载部被这样清空的测试托盘被移运到所述加载部以进行循环使用；

每当一个试验完的半导体器件移送至通用托盘时，至少每个半导体器件分配的序号、半导体器件的试验结果、以及在所述测试部用于试验的插座序号等的每个半导体器件的收纳信息，就都被存储于所述收纳信息存储装置；

将如此装载有试验完毕的且未经分类的半导体器件的通用托盘从所述试验装置中取出，以便使用所述收纳信息对试验完的半导体器件进一步进行新的试验和/或分类处理。

2.一种半导体器件试验系统，包括：

具有试验装置部和搬运器部的半导体器件试验装置；

设置在主计算机中的收纳信息存储装置；

所述试验装置部具有测试部，所述搬运器部具有加载部和卸载部，其中

所述半导体器件试验装置是这样设计的：多个要试验的半导体器件载放于通用托盘上，并被传送到所述搬运器部的加载部，在该加载部所述搬运器部的加载搬运器将所述半导体器件从通用托盘搬运到测试托盘，所述测试托盘被传送到所述试验装置的测试部，将放置于所述测试托盘中的半导体器件与配置在所述测试部的上述试验装置的测试头导电接触而测试半导体器件的工作状况，测试终了后，将放置有试验完的半导体器件的测试托盘从所述测试部搬出至搬运部的卸载部，所述测试托盘的试验完的半导体器件从所述测试托盘被移运到通用托盘，

所述半导体器件试验系统的特征在于，

所述半导体器件试验装置进一步这样构成：

在所述卸载部，进行仅将试验完的半导体器件分为成品及次品的两类分类操作，将所述试验完的半导体器件分别搬送至对应分类的两个通用托盘；

在卸载部被这样清空的测试托盘被移运到所述加载部以进行循环使用；

对于所有的试验完的半导体器件，每当一个试验完的半导体器件移送至通用托盘时，至少每个半导体器件分配的序号、半导体器件的试验结果、以及在所述测试部用于试验的插座序号等的每个半导体器件的收纳信息，就都被存储于所述收纳信息存储装置；

装载有对应类别半导体器件的两类通用托盘从所述试验装置中取出，以便使用所述收纳信息对试验完的半导体器件进一步进行新的试验和/或进行细分类处理。

3.一种包括多台如权利要求2所述半导体器件试验装置的半导体器件试验系统，其特征在于，

所述多个半导体器件试验装置具有相互不同的试验条件；

装有要试验的半导体器件的通用托盘依次被传送至所述多个半导体器件试验装置的第一个装置；

装有在所述第一半导体器件试验装置中已被确定为成品的试验完的半导体器件的通用托盘移送至后续的一个半导体器件试验装置以进行试验操作；

将该装有成品的试验完的半导体器件的通用托盘依次从所述多个半导体器件试验装置的第一个装置移送至后续的半导体器件试验装置，直至最后一个装置。

4.如权利要求3所述的半导体器件试验系统，其特征在于，

每一所述多个半导体器件试验装置在其收纳信息存储装置中存储相应试验完的半导体器件的从其试验获取的收纳信息，以用于当所述多个半导体器件试验装置所执行的全部试验完了后，使用该收纳信息对装载在从所述半导体器件试验装置的最后一个取出的通用托盘中的试验完的成品半导体器件进行进一步的细分类。