[发明专利]制造用于微调电容器的金属动片的方法

说明书

本发明涉及制造金属动片的方法，可旋转此金属动片来调节微调电容器的电容。

图6是本发明背景关注的公知微调电容器一个例子的剖面图。

示出的微调电容器1是一种表面可安装的类型，其主要零件有定片2，金属动片3、金属盖4以及弹簧垫圈5。

定片2由陶瓷电介质材料构成，并装有平行的定片电极6和7。在定片2的二个相对边上形成导电薄膜构成的端子8和9，以分别与定片电极6和7电气相连。于是，定片2具有对称结构。其优点在于，装配微调电容器1时无需注意定片2的方向。在图6所示的情况中，可去掉定片电极7或与其相连的端子9。

在定片2上设有金属动片3。在图7和8中也示出金属动片3。图7和8分别示出从其上表面10和下表面11的侧面看到的金属动片3。

金属动片3具有上表面10、下表面11以及把这两个表面连在一起的周围表面12。如图8清楚地所示，由从下表面11的一部分上以半圆结构凸起的台阶部分13的表面形成动片电极14的表面。此外，在下表面11上也形成与台阶部分13基本上等高的凸出部分15，以防止因为形成台阶部分13而造成金属动片3的倾斜。另一方面，如图7清楚地所示，在金属动片3的上表面上形成一驱动槽16。

上述金属动片3包含在金属盖4中，可以旋转。金属盖4具有适用于在其中包含可旋转的动片3的结构，并通过与定片2局部啮合而固定到定片2上。在金属盖4的上表面上设有调节孔17，用于露出金属动片3的驱动槽16。此调节孔17的周边部分稍稍倾斜成圆锥结构，以对金属动片3施加弹力。金属盖4也与延伸到定片2周围表面下端的端子18一起形成。该端子18可焊接到定片2的端子9。

在金属动片3的上表面10和金属盖4上调节孔17的周边部分之间设有弹簧垫圈5，该垫圈5稍稍倾斜成诸如圆锥结构，以对金属动片3施加弹力。

在具有此种结构的微调电容器1中，由金属盖4上调节孔17的周边部分提供弹力，弹簧垫圈5把金属动片3推向定片2，以在金属动片3和定片2之间提供稳定的接触。这稳定了金属动片3的转矩，也稳定了定片电极6和动片电极14之间形成的电容。通过与定片电极6电气连接的端子8以及设在金属盖上的端子18引出电容，此金属盖通过弹簧垫圈5与形成有动片电极14的金属动片3电气相连。

一般从利用冷锻的铜合金或从利用铸造的锌合金制造上述金属动片3。然而，冷锻和铸造需要专用于金属动片3的金属模具。因此，这种操作不仅需要高的初始费用，而且还要承担与金属模具寿命减少有关的费用，因为在加工期间它对金属模具加上了相当高的负荷。此外，使用此工艺获得的金属动片3上的动片电极14具有几十微米或更大的表面粗糙度和波度，而微调电容器1的金属动片3所需的表面粗糙度和波度一般是5微米或更小。金属动片3的表面粗糙度和波度最好尽可能小，因为表面粗糙度和波度越小，则电容变得越稳定。

因此，使用上述冷锻或铸造获得的金属动片3必须经过使用研磨机或类似装置的表面研磨作为后处理，以减小动片电极14的表面粗糙度和波度。然而，在这种表面研磨工艺中，金属动片3必须以某一方位放置于研磨机或类似装置上，使动片电极14的表面与机器接触。此外，必须调节研磨深度，这包含了相当复杂和费钱的操作。

因此本发明的一个目的是提供一种制造用于微调电容器的金属动片的经济和有效的方法，该方法不包含上述冷锻和铸造工艺。

本发明旨在一种制造用于微调电容器的金属动片的方法，该金属动片具有上、下表面，以及连接上下表面的周围表面，其中由从一部分下表面凸起的台阶部分形成动片电极的表面，在下表面上靠近台阶部分形成凸起部分，在上表面上形成驱动槽，概括地说，依据本发明的一个方面，使用刻蚀技术制造金属动片。

依据本发明，首先准备具有上和下主表面的金属板。使用光致抗蚀剂选择性地刻蚀金属板，以形成包括上述台阶部分、驱动槽、凸起部分和周围表面在内的至少一部分。然后，使用抗蚀剂选择性地蚀刻所述金属板，以形成包括上述台阶部分、驱动槽、凸起部分以及周围表面在内的其余部分。动片电极表面由金属板的下主表面的一部分构成。

依据本发明，利用上述使用光致抗蚀剂进行选择性刻蚀的方法形成金属动片的基本特征，诸如用于动片电极的台阶部分、驱动槽和周围表面。这提供的第一个优点在于，无需冷锻或铸造所需的金属模具，因此可省却与此金属模具有关的费用。

此外，在上述刻蚀期间至少保持金属板一个主表面上的初始光滑度，可把此光滑主表面用作最终的动片电极的表面。