[发明专利]一种用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置无效

专利信息
申请号: 97103400.1 申请日: 1997-03-27
公开(公告)号: CN1182203A 公开(公告)日: 1998-05-20
发明(设计)人: 李吉元 申请(专利权)人: 三星电管株式会社
主分类号: G01B5/06 分类号: G01B5/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曹永来,林长安
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 测量 表面上 金属膜 厚度 装置
【权利要求书】:

1.一种用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置,它包括:

一个位于被传送的板之上的框架;

一个在一端与所述框架可枢转地组合在一起的导轨,使得安装角可以调节;

一个用于沿着所述导轨往复运动的安装在所述导轨上的台车;

与所述台车组合的跟踪装置,用于通过有选择地与所述运动板的所述侧表面相接触来以所述板运动的速度传送所述台车;

安装在所述台车上以便从所述台车上升和下降的测量元件,用于通过接触所传送的板来测量金属膜的厚度;和

用于相对于所述板提升和降低测量元件的提升装置。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,它还包括一个安装在所述导轨另外一端上的第一致动器,用于通过提升和降低所述导轨来调节所述导轨的安装角,其中与所述板的运动路径相对应的导槽形成在所述导轨上。

3.如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述跟踪装置包括一个一端固定在所述台车上并且另外一端竖向向下延伸从而不与所述导轨相接触的跟踪杆,和一个第二致动器,该第二致动器连接在所述跟踪杆的所述另外一端上,用于有选择地接触所述板,使得所述台车可以根据所述板的运动来沿着所述导轨运动。

4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,在所述台车上形成有竖向通孔,并且所述提升装置包括一个支承板,该板位于所述导轨的下部,能够相对于所述导轨在竖向上运动并且有连接在其上的所述测量元件,和一个第三致动器,该第三致动器设置有一个杆,该杆在穿过所述台车的所述竖向通孔和所述导槽以后固定在所述支承板上。

5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,它还包括:

一个用于探测是否所述板位于所述导轨之下的第一传感器,和

一个用于探测是否所述板已经从在所述导轨之下的区域离开的第二传感器,

其中所述第一,第二或者第三致动器通过所述第一和第二传感器被有选择地操作。

6.如权利要求2所述的装置,其特征在于,它还包括一个用于吸收根据所述台车的运动和作用在所述台车上的作用力而产生的冲击的缓冲器。

7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述跟踪装置包括一个跟踪杆,该跟踪杆一端固定在所述台车上并且竖向向下延伸,因而其另外一端不与所述导轨相接触,和一个第二致动器,该第二致动器连接在所述跟踪杆的所述另外一端上,用于有选择地接触所述板,使得所述台车可以根据所述板的运动来沿着所述导轨运动。

8.如权利要求2所述的装置,其特征在于,在所述台车上形成有竖向通孔,并且所述提升装置包括一个支承板,该支承板位于所述导轨的下部,能够相对于所述导轨在竖向上运动,并且有连接在其上的所述测量元件,和一个第三致动器,该第三致动器设置有一个杆,该杆在穿过所述台车的所述竖向通孔和所述导槽以后固定在所述支承板上。

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