[发明专利]一种用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置

说明书

本发明涉及一种用于测量在诸如阴极射线管(CRT)的面板之类的板的内表面上的金属膜厚度的装置，更具体来说，它涉及当板运动时来测量在板的内表面上形成的沉积膜的厚度的装置。

在典型面板的内表面上，形成有预定图案的荧光膜，而金属膜形成在荧光膜的表面上。金属膜将通过电子束碰撞激发而从荧光膜上产生的光反射到面板的前表面上，以便改善亮度，并且保护荧光膜不受电子束的碰撞。金属膜由具有良好的反射率的铝制成。随着金属膜厚度的增加，其典型的光反射率将提高，但是电子束透射过金属膜的能量将较少。因此，从典型的光反射率和能量透射率的观点来看，金属膜的厚度应当适当设置。

当形成金属膜时，其厚度被周期性地测量，因而得到控制。

金属膜的厚度由操纵测量元件的操作工手工测量。在面板安装在金属膜沉积装置上时测量金属膜的厚度，因此其测量工作是复杂的，并且不能实现精确测量。另外安装在沉积装置上的面板是周期性地运动的，因此上述测量更加困难。

本发明的目的是克服上述问题而提供一种当面板被传送时测量在面板的内表面上的金属膜厚度的装置。

本发明的另外一个目的是提供一种测量在板的内表面上形成的的金属膜厚度的装置，其能够改善金属膜厚度测量工作的可靠性。

为完成上述目的，所提供的用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置包括：一个位于被传送的板之上的框架；一个在一端与所述框架可枢转地组合在一起的导轨，使得安装角可以调节；一个用于沿着所述导轨往复运动的安装在所述导轨上的台车；与所述台车组合的跟踪装置，用于通过有选择地与所述运动板的所述侧表面相接触来以所述板运动的速度传送所述台车；安装在所述台车上以便从所述台车上升和下降的测量元件，用于通过接触所传送的板来测量金属膜的厚度；和用于相对于所述板来提升和降低测量元件的提升装置。

另外，最好是，还包括一个安装在导轨的另外一端的第一致动器，用于通过提升和降低导轨来调节导轨的安装角，并且在导轨上形成一个与面板的运动路径相对应的导槽。

最好是，跟踪装置包括一个跟踪杆，该跟踪杆一端固定在台车上，而另外一端竖向向下延伸，从而不与导轨接触，和一个第二致动器，该致动器连接在跟踪杆的另外一端，用于有选择地接触面板，以便台车可以根据面板的运动来沿着导轨运动。

另外，最好是，通过台车形成竖向通孔，并且提升装置包括一个支承板，该支承板位于导轨的下部，能够相对于导轨在竖向上运动并且有连接在其上的测量元件，和一个第三致动器，该致动器设置有一个杆，该杆穿过台车的竖向通孔和导槽以后固定在支承板上。

本发明的上述目的和优点通过结合附图详细描述其较佳实施例将更加一目了然。其中，

图1是本发明的用于测量在板的内表面上形成的金属膜厚度的装置的分解透视图；

图2A-图2C是表示本发明的装置的运作情况的侧视图。

请参阅附图1，本发明的用于测量金属膜厚度的装置被安装在板90的上部，而板90安装在传送板10上，传送板10由驱动马达(未示出)周期性地传送，以便测量沉积在板90内表面上的金属膜的厚度。该测量金属膜厚度的装置包括：一个安装在传送板10附近的框架20；一个安装在框架20上的平而弯曲的导轨31，其中，安装角可以调节；用于沿着导轨31往复运动的台车41；安装在台车41上用于根据与板90侧面的选择接触情况传送台车41的行驶装置50；一个提升装置60，其与台车41组合在一起，用于相对于板90提升和降低金属膜厚度测量传感器70。

台车41沿着在导轨31上的板90的运动路径运动。导轨31的一端可以枢转地铰接在框架20的一侧，而其另外一端由框架20的另外一侧支承着。与板90的运动路径相对应的导引槽32形成在导轨31上。一个第一致动器33安装在框架20的非铰接侧，其支承着导轨31的另外一端并且可以提升和降低导轨31的自由端，以便转动导轨31，借此调节安装角。

轮子42安装在台车41的两侧，以便能够在导轨31上滚动。

跟踪装置50包括一个跟踪杆51和一个第二致动器52，其中，跟踪杆51的一端固定在台车41的一侧，并且向下延伸，从而不与导轨31相接触，而第二致动器52与跟踪杆51的另外一端组合在一起，以便有选择地接触板90，从而台车41可以根据板90的运动而沿着导轨31运动。