[发明专利]半导体器件的静电保护电路及其结构无效
申请号: | 97103776.0 | 申请日: | 1997-04-14 |
公开(公告)号: | CN1051171C | 公开(公告)日: | 2000-04-05 |
发明(设计)人: | 张明鉴 | 申请(专利权)人: | 世界先进积体电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L23/58 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蹇炜 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 静电 保护 电路 及其 结构 | ||
1、一种半导体器件的静电保护结构,系与一焊垫连接,其特征在于包括:
一衬底,
至少一个金属氧化物半导体晶体管,形成于该衬底,该半导体晶体管具有源/漏极扩散区、一在该源/漏极扩散区间的沟道区、及自该源/漏极扩散区向沟道区延伸的浅掺杂源/漏极,
一焊垫扩散区,形成于上述半导体晶体管的漏极扩散区侧,用以与该焊垫及半导体器件连接,及
一浅掺杂电阻,形成于该焊垫扩散区与漏极扩散区之间,用以使上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降。
2、如权利要求1所述的结构,其特征在于,该焊垫为一输入/输出垫。
3、如权利要求1所述的结构,其特征在于,该衬底为一P型硅衬底。
4、如权利要求3所述的结构,其特征在于,该电阻为一浅掺杂N型离子扩散区。
5、一种半导体器件的静电保护结构,系与一焊垫连接,其特征在于包括:
一衬底,
至少一金属氧化物半导体晶体管,形成于该衬底,该半导体晶体管具有源/漏极扩散区、一在该源/漏极扩散区间之沟道区、及自该源/漏极扩散区向沟道区延伸之浅掺杂源/漏极,
一焊垫扩散区,形成于上述半导体晶体管的漏极扩散区侧,用以与该焊垫及半导体器件连接,及
一阱电阻,形成于该焊垫扩散区与漏极扩散区之间,用以使上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降。
6、如权利要求5所述的结构,其特征在于,该焊垫为一输入/输出垫。
7、如权利要求5所述的结构,其特征在于,该衬底为一P型硅衬底。
8、如权利要求7所述的结构,其特征在于,该电阻为一N阱电阻。
9、一种半导体器件的静电保护电路,系与一焊垫连接,其特在于包括:
至少一金属氧化物半导体晶体管,其源极接地,栅极则控制该半导体晶体管导通与否,
至少一浅掺杂电阻,一端连接所对应该半导体晶体管的漏极,另一端则分别与该焊垫、半导体器件连接,用以于上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降,及
一寄生双极型晶体管,其基极、发射极接地,集电极分别与该焊垫、浅掺杂电阻、及半导体器件连接,用以传导因该静电放电产生之电流。
10、如权利要求9所述的电路,其特征在于,该半导体器件为一拉升晶体管。
11、如权利要求10所述的电路,其特征在于,该金属氧化物半导体晶体管为一拉降晶体管。
12、一种半导体器件的静电保护电路,系与一焊垫连接,其特在于包括:
至少一金属氧化物半导体晶体管,其源极接地,栅极则控制该电晶体导通与否,
至少一阱电阻,一端连接所对应该晶体管之漏极,另一端则分别与该焊垫、半导体器件连接,用以于上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降;及
一寄生双极型晶体管,其基极、发射极接地,集电极分别与该焊垫、浅掺杂电阻、及半导体器件连接,用以传导因该静电放电产生的电流。
13、如权利要求12所述的电路,其特征在于,该半导体器件为一拉升晶体管。
14、如权利要求13所述的电路,其特征在于,该金属氧化物半导体晶体管为一拉降晶体管。
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