[发明专利]用于真空管的排气分析器

权利要求书

1.一种用于真空管的排气分析器，它包括：

一个简化炉其中装有一个真空管；

一个连接在所述真空管的一个排气出口上的模拟气室；

一个连接在所述模拟气室上允许气体从中通过的第一主气室；

一个通过一个第一锐孔连接在所述第一主气室上以允许气体从中通过的第二主气室；

一个通过一个第二锐孔连接在所述第二主气室上以允许气体从中通过的第三主气室；

至少一个连接在所述气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空每个所述第一、第二和第三主气室；和

一个连接在所述第三主气室上的遗留气体分析器用以分析排气。

2.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个用于输入或排出气体的阀装在所述模拟气室上。

3.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个用于堵塞气体流动的第一闸阀装在所述模拟气室和所述第一主气室之间。

4.如权利要求2中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个在气体泄漏或爆炸时用以堵塞气流以避免损伤所述遗留气体分析器的第二闸阀装在所述第二主气室和所述第三主气室之间。

5.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中用于显示每个所述气室内压力的压力表分别装在相应的所述气室上。