[发明专利]用于真空管的排气分析器

说明书

本发明涉及一种用于真空管的排气分析器，特别是一种对从真空管排出的排气进行分析的设备，这种设备允许分析工作在诸如阴极射线管、电灯泡和真空荧光显示器等那样的真空管的制造工序中的排气工序中的同样条件下进行。

滞留在真空管内的气体曾经通过使用一个磁性锤将真空管的一个制成品的一部分破坏而进行分析。然而，由于排气的分析是限于制成品，因此根据一种材料的变性和特性所得数据会显示出不同。这样，根据一个单独的真空管制造过程的排气分析是不可能获得的。

根据另一种常规的技术，气体分析是在真空管密封步骤之前在多个步骤中进行的。然而，在这种情况下，在低真空区域进行气体分析是不可能的而且作为一个在生产区域内的排气炉很难显示出真空特性。因此，气体的热特性根据炉中的大气压和温度是不能进行分析的。

为解决上述问题，本发明的目的是提供一种用于真空管的排气分析器，这种分析器能够在如在与真空管制造工序中的排气工序中同样条件下进行气体分析。

本发明另一个目的是提供一种用于真空管的排气分析器，这种分析器能够在与在一个排气炉中同样的温度和直空状态下进行气体分析。

因此，为了达到上述目的，所提供的用于真空管的排气分析器包括：一个简化炉，真空管即装在其中；一个连接在真空管排气出口上的模拟气室；一个连接在模拟气室上以备气体从中通过的第一主气室；一个通过一个第一锐孔连接在第一主气室上以备气体从中通过的第二主气室；一个通过一个第二锐孔连接在第二主气室上以备气体从中通过的第三主气室；至少一个连接在至少一个气室上用以抽空第一、第二和第三主气室中每一个主气室内部的涡轮分子泵；和一个连接在第三主气室上用以分析排气的遗留气体分析器。

本发明的上述目的和优点通过结合附图对其一个优选实施例详细描述将更加明显清晰。

图1是本发明的用于真空管的排气分析器的前视图。

参看图1，根据本发明的用于真空管的排气分析器包括一个简化炉1，该简化炉装在一个压缩头11上用以烘焙和激活一个真空管100内部的气体分子，一个泵吸系统用以抽空真空管100内的气体，和一个遗留气体分析器(RGA)10用以分析排气。

连接在简化炉1上的泵吸系统包括一个作为压力调节室的模拟气室21和第一、第二和第三主气室22，23和24。模拟气室21连接在真空管100的一个排气出口100C上。

一个第一闸阀25装在模拟气室21和第一主气室22之间，而一个第二闸阀26装在第二主气室23和第三主气室24之间。第二闸阀26，即一个泵吸系统保护装置是在气体泄漏或爆炸的情况下用于自动地阻塞气体流。还有，为了维持各个气室中的不同压力，一个第一锐孔27被装在第一和第二气室22和23之间而一个第二锐孔28被装在第二和第三气室23和24之间。

一个用以输入或排出气体的阀21a装在模拟气室21上，而分别显示第一和第二主气室22和23内压力的压力表22a和23a各装在相应的气室上。另外，真空泵29和30例如涡轮分子泵(TMP)分别装在第二和第三气室23和24上以便减小各个气室22，23和24内的压力。

下面将参照图1对具有本发明这样结构的用于真空管的排气分析器的操作予以描述。

一块顶板100a和一个漏斗100b被放在简化炉1内以密封真空管100，于是遗留气体分析器10就被开动。由于遗留气体分析器10应当在比较低的压力下操作以避免对其造成损伤，连接到遗留气体分析器10上的第三主气室24内的压力需通过在第二闸阀26关闭的情况下操动涡轮分子泵30予以减小。下一步，通过检测遗留在第三主气室24内的气体而使遗留气体分析器10启动和进行操作。

在遗留气体分析器10的启动工作完成之后，顶板100a和漏斗100b使用一个加热器(未显示)予以密封。在此时，在顶板100a和漏斗100b的密封过程中所产生的气体通过预先打开的阀21a经由模拟气室21被排出。

在足够数量的气体通过阀21a排出后，直空管100内的气体分子被简化炉1的操作所激活以便排出真空管100内的气体。于是，涡轮分子泵29在阀21a关闭和第一闸阀25打开之后开始操作。因此，真空管100内的气体从其中经由模拟气室21，第一主气室22和第二主气室23排出。这里，第一主气室22的压力P1由于第一锐孔27的原因较第二主气室23的压力P2要低很多。第一和第二主气室22和23的压力P1和P2分别由压力表22a和23a所测出。