[发明专利]用于支持平板曝光装置布线图的设备

权利要求书

1.一种用来支持平板曝光装置的布线图的设备，上述装置包含一个固定的水平支持结构，其特征是包含：

一个由矩形框架和与上述框架连成一体的玻璃构成的适于承接布线图的布线图支持件，

用来支持或提升上述支持件的适于保持上述水平支持件在一给定平面内并适于产生一个在上述支持件与上述支持结构之间基本上无磨擦的协同动作的装置，

用来使上述支持结构暂时固定于上述支持件框架的可控装置，以及

与上述支持结构连成一体以在水平平面内沿二个正交方向相对于上述支持结构移动上述支持件的位移装置。

2.根据权利要求1的设备，其特征是支持或提升装置包括支持框架与支持结构之间的滚珠装置。

3.根据权利要求1和2中任一个的设备，其特征是用来控制暂时固定的可控装置包括与上述支持结构连成一体的电磁装置。

4.根据权利要求1和2中任一个的设备，其特征是上述位移装置包括至少二个位移单元，其中一个包括一个与上述支持结构连成一体的第一马达、与上述第一马达的输出轴连成一体以使第一平台沿X方向移动的凸轮装置、与上述沿X方向移动的第一平台同步地协同动作的第二平台、与上述第一平台连成一体的第二马达装置、与上述第二马达的输出轴连成一体以使上述第二平台沿正交于X方向的Y方向移动的凸轮装置，第二平台与支持框架之间的连接用自由地插入垂直轴向孔的位移垂直销来实行，此销与支持件或与第二平台连成一体，孔与另一零件连成一体。

5.根据权利要求3的设备，其特征是上述位移装置包括至少二个位移单元，其中一个包括一个与上述支持结构连成一体的第一马达、与上述第一马达的输出轴连成一体以使第一平台沿X方向移动的凸轮装置、与上述沿X方向移动的第一平台同步地协同动作的第二平台、与上述第一平台连成一体的第二马达装置、与上述第二马达的输出轴连成一体以使上述第二平台沿正交于X方向的Y方向移动的凸轮装置，第二平台与支持框架之间的连接用自由地插入垂直轴向孔的位移垂直销来实行，此销与支持件或与第二平台连成一体，孔与另一零件连成一体。

6.根据权利要求4的设备，其特征是每个马达包括一个连接于储存有相应数据表的存储器的控制电路，以便提供安装在马达上的凸轮的旋转角与相关平台直线位移之间的对应关系。

7.根据权利要求5的设备，其特征是每个马达包括一个连接于储存有相应数据表的存储器的控制电路，以便提供安装在马达上的凸轮的旋转角与相关平台直线位移之间的对应关系。