[发明专利]用于支持平板曝光装置布线图的设备

说明书

本发明涉及到支持平板特别是印刷电路板曝光装置布线图的设备。

在印刷电路制造领域中，很多情况下为了曝光而需要使印刷线路布线图相对于印刷电路板定位。

在曝光步骤中更是如此，以便用光刻蚀方法确定印刷电路的条形导线。采用相应的装置，使覆盖有薄膜即光敏抗蚀剂的印刷电路通过安装在可移动的支持件上的布线图暴露于紫外线一定时间，从而使由布线图确定的光敏抗蚀剂膜的相应部分曝光。

显然，这一操作的要点在于布线图相对于待要曝光的印刷电路的定位精度。布线图被安置在通常由固定有玻璃的矩形金属框架所构成的水平支持件上，布线图被安放在玻璃上以便曝光。在本发明的具体情况下，此支持设备涉及到布线图相对于平板特别是相对于印刷电路板精确定位移动的情形。

在绝大多数的这类机器中，只在印刷电路板的一侧进行紫外曝光。此时，机器只有一个布线图支持件即下方支持件。但是越来越普遍的双面型印刷电路板的情况下，采用可通过二个布线图而同时对印刷电路进行曝光的机器是特别令人感兴趣的。在美国专利5,337,151和欧洲专利申请EP618505中已提出了这种机器。在这种机器中，由于存在二个布线图，故必须提供安置在印刷电路板二侧的二个布线图支持件。

在迄今提出的解决方法中，与布线图支持件的数目无关，布线图支持件都有一定的重量，特别是由于存在支持布线图的玻璃以及必须很坚固的框架的重量，位移是利用二个通常称为平台的设备来获得的，每个平台使支持件能够沿X一个方向或沿相互正交的X和Y二个方向移动。这些平台机械上支持着整个支持件且必须同时沿水平面位移设备并沿垂直方向机械支持。这意味着在位移沿二个轴的情况下，马达必须有很大的功率。而且，考虑到所需的定位精度，待要移动的整个支持件的重量即惯性使位移很慢，虽然很有限，这就需要相当长的时间来使支持件因而也是布线图相对于参考板定位，即大约十分之几秒。

在例如以自动供给印刷电路的方法运行的从安置在支持件上的布线图对印刷电路进行曝光的装置的情况下，定位支持件所需的时间极大地降低了整个装置的工作速率。

这样就实在需要有一种能够非常精确地而又能在比已知解决方法更短的时间内移动的布线图支持设备。

本发明的目的是提供一种布线图支持设备，更确切地说是一种可减少最终定位所需时间又能保持同等精确定位的用来移动此支持件的装置。

根据本发明，为达到此目的，平板曝光装置的布线图支持设备包括一个固定的水平支持结构，其特征是它包含：

一个由矩形框架和与上述框架成一整体的玻璃构成的适于承接布线图支持件，

用来支持或提升上述支持件的能够将上述水平支持件维持在一给定平面内并能够在上述支持件与上述支持结构之间产生基本上无任何摩擦的配合的装置，

用来使上述支持结构暂时固定于上述支持件的框架上的可控装置，以及

与上述支持结构成一整体的用来使上述支持件相对于上述支持结构在水平平面内沿二个正交方向移动的位移装置。

于是不用说，在上方支持件的情况下，位移装置即平台只用来移动布线图支持件而决不支持或提升它。而且，支持件相对于固定的支持结构的支持动作是利用摩擦力极小的装置来获得的。由于牵涉到的惯性小，于是就可能得到非常精确和非常迅速的定位。但由于在支持结构上有支持件的暂时固定装置，布线图支持件相对于支持结构的最终定位可在曝光过程中一直保持住。

阅读下列用非限制性举例方法给出的本发明最佳实施例的描述，将看到本发明的其它特征和优点。

本叙述将参照附图进行，这些图中：

图1a是曝光装置的下部平面示意图，示出了下方布线图支持件；

图1b是装置的简化剖面图，示意地示出了下方和上方支持件；

图2是用来将布线图支持件固定于支持结构的固定装置的立面图；

图3是详图，示出了带支持结构的布线图支持件的支持装置；以及

图4是详图，示出了用来使下方支持件或上方布线图支持件相对于固定的支持结构而移动的位移马达的实施例。

在这类装置中，众所周知第一步是用可伸缩的定位销使印刷电路相对于布线图支持件进行预定位。印刷电路相对于下方和上方布线图支持件一旦达到了预定位，就用光学装置对这三个部件测量定位误差。用这些定位误差测量来控制位移马达以便实现定位误差对应于小于10μm的最终定位。本发明涉及到装置的部件，此部件使没有可能从对应于预定误差的测量而获得最终定位。

欧洲专利申请618505中详细描述定位误差的光学探测。对于这部分装置，该专利申请的描述被用作参考且必须认为是本发明的一个整体部分。