[发明专利]硅的精制方法及其精制装置无效
| 申请号： | 97111213.4 | 申请日： | 1997-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1167728A | 公开（公告）日： | 1997-12-17 |
| 发明（设计）人： | 花泽和浩;阿部正道;马场裕幸;中村尚道;汤下宪吉;阪口泰彦;加藤嘉英;荒谷复夫 | 申请（专利权）人： | 川崎制铁株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037;C30B13/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精制 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
1一种硅的精制方法，通过电子束照射使保存在容器内的硅熔化，蒸发除掉该硅含有的易挥发性杂质元素，其特征是，容器材料为石墨，使硅熔化。
2如权1的方法，其特征是，使用多个容器，在上一个容器中供给固定原料硅，在供给当中或供给之后，照射电子束，使该固体原料硅熔化，在熔化中或固体原料硅熔化之后，把熔化的硅注入下一个容器，再一边作电子束照射，一边依次把该熔化硅注入下一个容器。
3如权1或2的方法，其特征是，使该容器材料石墨的杂质浓度比硅的精制目标杂质浓度还要低。
4如权1、2或3的方法，其特征是，容器材料的石墨密度要大于1.5g/cm3。
5一种硅的精制装置，用电子束照射使保存在减压的容器内的硅熔化，除去该硅含有的易挥发性杂质元素，其特征是，备有：固体原料硅的供应部分，和设有把熔化硅注入下一个容器的器具的多个石墨容器，和熔化容器内硅的电子枪，和接纳熔化硅并使之凝固的接受器皿，所述各部分被设置于真空物内。
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