[发明专利]可变形反射镜装置及其制造方法

说明书

本发明涉及可变形反射镜装置及其制造方法，特别涉及具有大的有效反射面和简单结构的可变形反射镜装置和其制造方法。

如图1所示，一个典型可变形反射镜装置具有多个反射镜1，每一个反射镜由铰链3连接到柱2上。每个反射镜1由静电旋转，按一定角度反射入射光。可变形反射镜用于投影电视的视频显示装置，和扫描器、复印机及传真机等的光学扫描装置。可变形反射镜装置的反射镜1按二维方式排列，每个像素处有一个反射镜。每个反射镜1根据各自像素信号反射光线，从而控制色彩和亮度。

在图2中介绍了Texas Instrument Co.公开的美国专利5,083,857“多层可变形反射镜装置”(“Multi-Level Deformable Mirror Device”)的制造方法。

如图2所示，静态随机存取存储器(SRAM)12和氧化物保护膜13顺序加工在包括一寻址扫描电路的基片11的上表面之上。在步骤100中具有一预定图案22的第一间隔层21加工在氧化物保护膜13上。

在步骤110，通过溅射方法在第一间隔层21的上表面形成铰链14，在铰链14上表面形成具有第一柱15的电极16。

在步骤120，第二间隔层23加工在电极16上，然后在其上加工出具有第二柱17的反射镜18。这里，反射镜18一般是通过溅射铝构成。

最后，在步骤130，将第一和第二间隔层除去，最后形成一可变形反射镜装置。

但是，在制造该可变形反射镜装置当中，如果在SRAM12上表面上形成铰链14、反射镜18等制造过程中产生缺陷，就会损坏SRAM12。而且，在基片11的上表面上必须顺序形成多层，使可变形反射镜装置的制造过程复杂。

为了解决上述问题，本发明的一个目的是提供具有较大的光反射面和简单结构的一种可变形反射镜装置及其简单的制造方法。

为了达到上述目的，提供的可变形反射镜装置包括：一基片；在基片的上表面上形成的多个电极；一安装在各电极上并可以相对于电极倾斜的反射镜；和至少一个柱，其一端与电极间基片连接，而另一端与反射镜下表面制成一体以支撑反射镜，该柱具有弹性，使反射镜可以倾斜。

根据本发明，一种制造可变形反射镜装置的方法包括以下步骤：在基片上按一定的图案形成电极层；在基片和电极层上表面上形成一厚膜；在厚膜的上表面上按一定的图案形成一支撑板；在支撑板的上表面上设置具有一定图案的掩模，并部分地腐蚀支撑板和厚膜，形成至少一个通孔；在支撑板上表面和通孔内涂光致抗蚀剂，并用具有一定图案的掩膜对光致抗蚀剂进行曝光和腐蚀，除去支撑板的边缘，将支撑板分成分离的部分；通过溅射，在通孔内表面一侧形成一柱；在支撑板的上表面上形成反射板；除去厚膜。

另外，根据本发明的另一个方面，制造可变形反射镜装置的方法包括下列步骤：在基片上按一定的图案形成电极层；在基片和电极层的上表面上形成厚膜；在厚膜上表面上设置具有一定图案的掩膜，并部分腐蚀厚膜以形成至少一个通孔；在通孔内涂光致抗蚀剂，用具有一定图案的掩膜曝光，并腐蚀涂上的光致抗蚀剂，除去支撑板的边缘，将支撑板分成单个部分；用溅射方法在通孔内表面一侧上形成一柱；在厚膜上表面形成一支撑板；在通孔内形成光致抗蚀剂层；在支撑板和光致抗蚀剂层上形成反射板并填满通孔上部；除去厚膜和光致抗蚀剂层。

参照附图对本发明优选实施例的详细介绍会使本发明的上述目的和优点变得更加明了，其中：

图1是传统可变形反射镜装置平面图；

图2是传统可变形反射镜装置的制造过程；

图3是根据本发明一实施例可变形反射镜装置的透视图；

图4A到4D是图3中所示通孔的各种形状的平面图；

图5是可变形反射镜装置的透视图，说明图3中柱的另一个实施例；

图6是本发明另一实施例可变形反射镜装置的剖面图；

图7A和7B是根据本发明一实施例的可变形反射镜装置制造方法的剖面图；

图8A和8B是根据本发明另一实施例的可变形反射镜装置制造方法的剖面图。

参看图3，根据本发明一个实施例的可变形反射镜装置包括一基片30，它有一寻址扫描电路(未示出)，和在基片30的上表面上呈条状的一对电极33a和33b。在基片30上的电极33a和33b之间形成一柱39。柱39与基片30垂直连接，并可以弹性弯曲。

反射镜37与柱39的上端结合。反射镜37是由支撑板35和在支撑板35上形成的反射板36组成的两层结构。支撑板35面向电极33a和33b，反射镜37的角度根据支撑板和电极33a和33b之间的静电变化。而且，反射板36反射入射光。