[发明专利]晶圆的固定装置及方法

权利要求书

1．一种晶圆的固定装置，用以固定一平板于一晶圆上，该晶圆具有数个镂空处，其特征在于，该装置系包含：

一基座，其系用以放置该晶圆：

在该基座上设有至少一个沟槽，且每个沟槽具有一独立开口，开设于基座一侧，当该晶圆置于该基座上时，所述镂空处系对应于所述沟槽；以及

一抽气设备，与所述沟槽的开口连接。

2．如权利要求1所述的晶圆的固定装置，其特征在于，所述沟槽为一弯曲的长形沟槽或一环形沟槽，沟槽经抽气后，其压力较周围环境低50～200mmHg。

3．如权利要求1所述的晶圆的固定装置，其特征在于，还包含一双向阀，其连接于所述抽气设备及所述基座沟槽的开口间。

4．如权利要求1所述的晶圆的固定装置，其特征在于，所述沟槽具有另一可闭开口。

5．一种晶圆的固定方法，用以固定一平板于一晶圆上，该晶圆具有数个镂空处，其特征在于，其步骤系包含：

将该晶圆置于一具有数个沟槽的基座上，使所述镂空处对应于所述沟槽；

将该平板对准放置于该晶圆上；以及

抽出所述沟槽中的气体，使该平板藉一真空吸力固定于该晶圆上。

6．根据权利要求5所述的晶圆的固定方法，其特征在于，于抽出所述沟槽中的气体后，还包含一步骤：除去真空使气体回流至所述沟槽中，以移除所述平板与所述晶圆间的真空吸力。

7．根据权利要求5所述的晶圆的固定方法，其特征在于，所述沟槽经抽气后，其压力系较周围环境低50～200mmHg。

8．根据权利要求5所述的晶圆的固定方法，其特征在于，所述基座还包含数个沟槽，每一个沟槽均具有一独立开口，该数个沟槽经抽气后，于不同的沟槽系具有不同的真空度。

9．一种粘合喷墨头喷孔片的方法，此喷墨头包含一用以喷射墨水的喷孔片，以及用以控制该墨水射出的数个晶片，所述每个晶片上具一镂空处，用以盛装墨水，其特征在于，其步骤系包含：

将所述数个晶片置于一具有数个沟槽的基座上，使所述镂空处对应于所述沟槽；

于所述晶片上涂布一粘着层；

将所述数个喷孔片对准放置于所述数个晶片上；

抽出数个沟槽中的气体，使该喷孔片藉一真空吸力固定于该晶片上；

加热该粘着层，使该粘着层粘合该喷孔片及该晶片；以及

除去真空使气体回流至该沟槽中，以移除该喷孔片与该晶片间的真空吸力。