[发明专利]热敏打印头、相应的制造方法、记录装置、烧结体及靶

说明书

技术领域

本发明涉及以传真或孔板印刷等为代表的各种OA机器中使用的热敏打印头、该热敏打印头的制造方法、使用该热敏打印头的记录装置、以及在构成该热敏打印头的保护层和发热电阻体底层形成时很适用的烧结体及靶。

背景技术

进年来，由于热敏打印头具有噪音低、维修费用低及运转费用低等优点，所以被广泛地用于传真或孔板印刷等各种OA机器的热敏式记录装置中。

一般来说，热敏打印头如下构成。即，在氧化铝基体上形成玻璃釉层，在玻璃釉层上形成发热电阻体层及铝等的导电层后，利用光刻技术形成发热电阻体及电极。再利用溅射法等的薄膜形成技术形成被覆保护发热电阻体及电极用的保护层而构成。另外，为了防止氧从玻璃釉层向发热电阻体扩散，保持发热电阻体的特性，有时在形成于氧化铝基体上的玻璃釉层和发热电阻体之间还形成发热电阻体底层。

保护层和发热电阻体底层的形成例如是利用将由氮化硅和二氧化硅构成的粉状体的烧结体作为靶的溅射法等的薄膜形成技术进行的，可是在形成保护层和发热电阻体底层时，往往有异物(飞溅物)进入保护层和发热电阻体底层。该异物是存在于热敏打印头的制造环境中的悬浮粉尘、来自制造装置或人体的发散物，它附着在热敏打印头的保护层和发热电阻体底层的上下层及层内。特别是，关于异物的发生源的问题，可以举出作为靶使用的烧结体。

即，随着净化室等的净化技术的进步，与以往相比，热敏打印头的制造环境能保持得非常清洁，悬浮粉尘和来自制造装置或人体的发散物的大部分都能被除去。可是，在利用溅射法等形成保护层和发热电阻体底层时，将从作为靶的烧结体飞散而附着在保护层和发热电阻体底层上的异物除去就难了。因此，从烧结体飞散的异物就附着在保护层和发热电阻体底层上并渗入其中。从作为靶的烧结体产生异物的原因，是由于构成烧结体的颗粒的大小不同、或者是由气孔等造成的烧结体的局部密度不同，在形成薄膜时烧结体消耗的原子在局部发生偏差，结果在烧结体的表面上便产生了微小的凹凸部分，特别是由于凸部发生的异常放电，使得烧结体的一部分剥离所致。就是说，剥离下来的烧结体的一部分作为异物从烧结体飞散出去而附着在保护层和发热电阻体底层上。

这样一来，在烧结体的一部分作为异物进入保护层中的热敏打印头中，通过异物和记录媒体的接触，异物从保护层剥离，从而在保护层中的异物剥离的部位产生了针孔。另外，在剥离下来的异物又被卷入剥离部位的周边部分的情况下，周边部分的保护层遭到破坏。

水和腐蚀性物质等容易进入这样产生的针孔和保护层的破坏部分，造成电极和发热电阻体的腐蚀、劣化，存在热敏打印头的特性受损害的问题。

另外，在异物进入了发热电阻体底层的情况下，特别是由于在发热电阻体底层上形成的发热电阻体层等中产生缺陷，引起发热电阻体的电阻值等的特性异常，存在发热电阻体的寿命等的品质劣化的问题。

另外，由于安装在记录装置中的热敏打印头的特性或寿命等的品质受到影响，所以存在由记录装置记录在记录媒体上的图象的质量下降的问题。

本发明就是为了解决上述现有的问题而完成的，其目的在于提供一种能减少保护层和发热电阻体底层上产生的针孔及保护层和发热电阻体底层的破坏、同时耐环境性能好、可靠性高的高品位的热敏打印头。

另外，本发明的目的在于提供一种能保护发热电阻体的特性及品质、可靠性高的高品位的热敏打印头。

另外，本发明的目的在于提供一种能减少保护层上产生的针孔及保护层的破坏、同时耐环境性能好、可靠性高的高品位的热敏打印头的制造方法。

另外，本发明的目的在于提供一种能保护发热电阻体的特性及品质、可靠性高的高品位的热敏打印头的制造方法。

另外，本发明的目的在于提供一种安装了能保护发热电阻体的特性及品质、可靠性高的高品位的热敏打印头的稳定地输出高质量的记录图象的记录装置。

另外，本发明的目的在于提供一种安装了能减少保护层上产生的针孔及保护层的破坏、同时耐环境性能好、可靠性高的高品位的热敏打印头的稳定地输出高质量的记录图象的记录装置。

另外，本发明的目的在于提供一种在热敏打印头的保护层和发热电阻体底层等的形成时很适用的烧结体。

另外，本发明的目的在于提供一种在热敏打印头的保护层和发热电阻体底层等的形成时很适用的靶。

发明的公开