[实用新型]真空微电子气体传感器无效
| 申请号： | 97235628.2 | 申请日： | 1997-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN2282680Y | 公开（公告）日： | 1998-05-27 |
| 发明（设计）人： | 刘锦淮;张耀华;李明强;张正勇;焦正;张蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥智能机械研究所 |
| 主分类号： | G01D5/42 | 分类号： | G01D5/42 |
| 代理公司： | 中国科学院合肥专利事务所 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 微电子 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空微电子气体传感器，其特征在于，硅衬底上有一层负电极，其上是一层氧化硅；在氧化硅层上是一层单晶硅体，在其中间有离子化气室；在离子化气室中有阴极发射尖端；在离子化气室的上面是玻璃薄片，玻璃薄片的底面有一层梳状正电极；光敏探测器放置在玻璃薄片的上方。
2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述离子化气室里充有氢气，二氧化碳气体或一氧化碳气体。
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