[发明专利]球点阵半导体器件外壳及其制造工艺无效
申请号: | 98100928.X | 申请日: | 1998-03-19 |
公开(公告)号: | CN1194458A | 公开(公告)日: | 1998-09-30 |
发明(设计)人: | 金溶演;柳在喆 | 申请(专利权)人: | 三星航空产业株式会社 |
主分类号: | H01L23/02 | 分类号: | H01L23/02;H01L23/48;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 刘晓峰 |
地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 点阵 半导体器件 外壳 及其 制造 工艺 | ||
1.一种球点阵半导体器件外壳,包括连接在半导体芯片上的引线,其特征在于包含:在每根导线上设置的导电印剂部分;
及焊球,其与导电印剂的每一部分相接,并与外部衬底的端子相连。
2.根据权利要求1所述的球点阵半导体器件外壳,其特征在于导电印剂部分是通过印压成面制作的。
3.根据权利要求1所述的球点阵半导体器件外壳,其特征在于导电印剂的材料是从铜、金、银、钯、铑或其中的合金中选取的。
4.根据权利要求1所述的球点阵半导体器件外壳,其特征在于焊球交叉排列。
5.根据权利要求1所述的球点阵半导体器件外壳,其特征在于还包含起维持引线间隔作用的绝缘带。
6.根据权利要求1所述的球点阵半导体器件外壳,其特征在于焊球以隔行相同的方式排列。
7.制造球点阵半导体器件外壳的方法,其特征在于包括的步骤为:
(a)将导电印剂部分涂在引线上;
(b)将半导体芯片的端子焊接到导线上,并将焊接所成的结构用树脂包裹;
(c)将导电印剂连接到焊球上,再由焊球连接外部衬底端线。
8.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于金属衬底的材料从铜、铜合金和镍铁合金中选取。
9.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于步骤(a)包括将导电印剂压印以获得导电印剂平面的过程。
10.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于步骤(a)的制作方法是从屏印方法,金属模板方法,注射和扩散的方法和布点的方法中选取。
11.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于步骤(a)包括使模制树脂平整以使得导电印剂露在模制树脂底下的工艺。
12.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于步骤(a)包括为防止导电印剂变形,在压印导电印剂工艺之前进行的对导电印剂的干燥后处理过程。
13.根据权利要求12所述的制造方法,其特征在于步骤(a)包括为了防止导电印剂变形,在压印导电印剂工艺之后进行后处理的过程。
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