[发明专利]通过气相转移的方式对电子领域的专用气体进行提纯

权利要求书

1.一种对包含至少一种杂质的液相化合物进行提纯的设备，该设备包括：

存放包含至少一种杂质的液相化合物的第一容器；

存放经提纯的化合物的第二容器；

第一流体管线，该管线以流体流动方式与第一容器和第二容器连通，以便将气相化合物从第一容器转移给第二容器；

温度控制器，其用于保持第一容器和第二容器之间的温差，该温度控制器用于在上述化合物从第一容器转移到第二容器中时使上述化合物保持气相，当该化合物位于第二容器内时使该化合物液化；

这样当气相化合物从第一容器转移到第二容器中时，上述至少一种杂质不从第一容器转移到第二容器中。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于上述温度控制器包括以热量传递方式与第一容器连通的加热器。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于上述加热器为加热的槽，上述第一容器至少局部浸没于该加热的槽中。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于上述温度控制器包括以热量传递方式与第二容器连通的冷却器。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于上述冷却器为冷却的槽，第二容器至少局部浸没于该冷却的槽中。

6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于上述冷却器将第二容器冷却到在0℃～-100℃的范围内的温度。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于上述冷却器将第二容器冷却到在-10℃～-70℃的范围内的温度。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于上述温度控制器包括以热量传递方式与第一流体管线连通的加热器，当气相化合物通过第一流体管线转移时，该加热器使该化合物保持气相，直至该气相化合物进入第二容器中。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于该设备还包括对流入和流出第二容器的流体流速进行控制的阀，当气相化合物通过第一流体管线转移时，上述加热器使该化合物保持气相，直至该气相化合物位于该阀的下游侧。

10.根据权利要求1所述的设备，其特征在于该设备还包括用于对流入和流出第一容器的流体流速进行控制的第一阀，以及用于对流入和流出第二容器的流体流速进行控制的第二阀。

11.根据权利要求1所述的设备，其特征在于该设备还包括用于对第一容器的重量进行测定的装置。

12.根据权利要求1所述的设备，其特征在于该设备还包括以流体流动方式与第一流体管线连通的，用于与真空管线连接的第二流体管线。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于该设备还包括以流体流动方式与第一流体管线连通的，用于与涤气器管线连接的第三流体管线。

14.根据权利要求13所述的设备，其特征在于该设备还包括以流体流动方式与第一流体管线连通的，用于与冲洗气体管线连接的第四流体管线。

15.根据权利要求1所述的设备，其特征在于该设备还包括用于测定第一流体管线中的压力的装置。

16.一种从液相化合物中去除至少一种杂质的方法，该方法包括下述步骤：

将包含至少一种杂质的液相化合物设置于处于下述温度下的第一容器中，该温度高于该液相化合物的沸点；

通过至少第一流体管线使第二容器以流体流动方式与第一容器连通；

通过压差的作用，借助第一流体管线将上述化合物从第一容器转移到第二容器中，其中，与第一容器内的化合物相比，从第一容器转移过来而位于第二容器内的化合物的杂质浓度有所降低。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于上述转移步骤还包括：仅仅对气相化合物进行转移。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于上述转移步骤还包括：使位于第一流体管线中的气相化合物保持下述的温度，该下述温度足以使该化合物保持气相状态。

19.根据权利要求17所述的方法，其特征在于该方法还包括对位于第二容器内的气相化合物进行液化的步骤。

20.根据权利要求19所述的方法，其特征在于上述液化步骤包括对气相化合物进行冷却。