[发明专利]存储器单元的布局图无效
申请号: | 98103832.8 | 申请日: | 1998-02-13 |
公开(公告)号: | CN1207582A | 公开(公告)日: | 1999-02-10 |
发明(设计)人: | 涉谷宏治;新居浩二 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/82 | 分类号: | H01L21/82;H01L27/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 程天正,叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存储器 单元 布局 | ||
本发明涉及存储器单元的布局图。
先有例1
图8是用来实现图1和图2所示的存储器单元电路的先有存储器单元的布局图。在图8中,n1是第1NMOS晶体管,n2是第2NMOS晶体管,n3是第3NMOS晶体管,n4是第4NMOS晶体管,n5是第5NMOS晶体管,n6是第6NMOS晶体管,n7是第7NMOS晶体管,n8是第8NMOS晶体管,n9是第9NMOS晶体管,n10是第10NMOS晶体管,n11是第11NMOS晶体管,n12是第12NMOS晶体管,n13是第13NMOS晶体管,n14是第14NMOS晶体管,n15是第15NMOS晶体管,n16是第16NMOS晶体管,p1是第1PMOS晶体管,p2是第2PMOS晶体管,p3是第3PMOS晶体管,p4是第4PMOS晶体管,p5是第5PMOS晶体管,p6是第6PMOS晶体管,p7是第7PMOS晶体管,p8是第8PMOS晶体管,p9是第9PMOS晶体管,p10是第10PMOS晶体管,p11是第11PMOS晶体管,p12是第12PMOS晶体管,p13是第13PMOS晶体管,p14是第14PMOS晶体管,p15是第15PMOS晶体管,p16是第16PMOS晶体管。此外,Gn1~Gn16分别是第1~第16NMOS晶体管n1~n16的栅极,Sn1~Sn16分别是第1~第16NMOS晶体管n1~n16的源极区,Dn1~Dn16分别是第1~第16NMOS晶体管n1~n16的漏极区。此外,Gp1~Gp16分别是第1~第16PMOS晶体管p1~p16的栅极,Sp2、Sp3、Sp6、Sp8、Sp9、Sp10、Sp11、Sp14、Sp15、Sp16分别是第2、第3、第6、第8、第9、第10、第11、第14、第15、第16PMOS晶体管p2、p3、p6、p8、p9、p10、p11、p14、p15、p16的源极区,Dp2、Dp3、Dp6、Dp8、Dp9、Dp10、Dp11、Dp14、Dp15、Dp16分别是第2、第3、第6、第8、第9、第10、第11、第14、第15、第16PMOS晶体管p2、p3、p6、p8、p9、p10、p11、p14、p15、p16的漏极区。此外,W0BL是由第1层布线形成I写入位线,W0BLC是由第1层布线形成II写入位线,W0WL0是由第2层布线形成I写入字线,W0WL1是由第2层布线形成II写入字线,R1WL0是由第2层布线形成I读出字线,R1WL1是由第2层布线形成II读出字线,R1BL是由第1层布线形成的读出位线,VDD是由第1层布线形成的电源线,GND是由第1层布线形成的接地线。第1层布线敷设在NMOS晶体管和PMOS晶体管的上方,第2层布线敷设在第1层布线的上方。再有,在图6中,以实线表示第1层布线,以加了剖面线的粗线表示第2层布线。而且,以中间呈白色的四边形表示连接第1布线和栅极、源极区或漏极区的接触孔,以中间添加了×标记的四边形表示连接第1布线层和第2布线层的过孔。
这样,在图8所示的用来实现图1和图2所示的存储器单元电路的先有存储器单元的布局图中,当以晶体管阵列的方向作为行方向、与晶体管阵列相邻的方向作为列方向时,将NMOS晶体管和PMOS晶体管作为一组构成的基本单元在行方向配置2个、在列方向配置8个。此外,字线配置在行方向,位线配置在列方向。
先有例2
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