[发明专利]在半导体制造设备控制系统中控制设备单元状态的方法

权利要求书

1．一种在半导体制造设备控制系统中对设备各单元状态进行控制的方法，包括以下步骤：

当所述单元中发生预定的状态变化时，从所述设备接收单元的实际单元状态数据；

第一次从存储于数据库的状态数据中搜索对应于所述单元的存储的单元状态数据；

对比所述实际的单元状态数据和所述存储的单元状态数据，并确定所述实际单元状态数据中是否发生预定的变化；以及

如果确定所述实际的单元状态数据中未发生所述预定变化，则继续接收所述实际的单元状态数据，如果确定所述实际的单元状态数据中发生了所述预定变化，则根据所述实际的单元状态数据的所述内容第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容。

2．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤：

确定是否输入了用于引入产品的预定信号；

如果确定未输入用于引入产品的所述预定信号，则终止控制流程，如果确定输入了用于引入产品的所述预定信号，则识别引入了所述产品的所述单元，第二次搜索对应于所述单元的存储的单元状态数据，并确定所述单元是否处于其停载状态；

如果确定所述单元未处于其停载状态，则终止所述控制流程，如果确定所述单元处于其停载状态，则显示预定的警告信息，停止处理。

3．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤：

确定是否输入了用于计算所述设备的运行速率的预定信号；

如果确定未输入用于计算设备的运行速率的所述预定信号，则终止控制流程；如果确定输入了用于计算设备的运行速率的所述预定信号，则第三次搜索所述存储的单元状态数据，用所述第三次搜索的存储的单元状态数据计算所述设备的所述运行速率，输出所述设备的所述运行速率的预定信息。

4．根据权利要求1的方法，其中在所述第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容的步骤之后，还包括以下步骤：

确定是否输入了预定的设备单元状态改变数据；

如果确定未输入所述预定的设备单元状态改变数据，则终止控制流程；如果确定输入了所述预定的设备单元状态改变数据，则根据所述设备单元状态改变数据的内容，第二次更新所述存储的单元状态数据的所述内容，把所述设备单元状态改变数据下载给所述设备。