[发明专利]在半导体制造设备控制系统中控制设备单元状态的方法

说明书

本发明涉及在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法，特别是这样的在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法，其中单元状态变化监视模块包括在主计算机中，由此可以防止实际的单元状态数据与存储于主计算机中的单元状态数据之间不一致。因而，可以明显地提高在控制设备生产率上的整体效率。

通常，通过高精度工艺来制造半导体器件。为了此高精度工艺，在半导体生产线设置高功能设备。

由操作者通过控制系统对各设备的运行进行精心地监视，以便可以提高生产线上的操作效率。

这种传统的控制系统以框图的形式展示于图1。

如图1所示，半导体制造设备3设置于生产线上。各批产品10被引入设备3中以进行处理。

设备3通过设备服务器(未示出)与主机1在线连接。主机1与操作者接口PC(O/I PC)2在线连接。操作者通过O/I PC2通知主机1开始对各批产品10的处理。

当主机1被通知开始对各批产品10进行处理时，主机1立即把现有的适当工艺条件例如处理时间量、处理温度等下载给设备3。结果，设备3可以在适当的条件下对各批产品10进行处理。

此时，设备3运行其辅助单元例如加载口和卸载口(未示出)、处理室4等，以根据下载的处理条件进行处理。

在这种传统的半导体制造设备控制系统中，当多个室4中的第一室4a处于其停载状态而且只有第二室4b处于其运载状态，因而第一室4a的状态需要从停载状态改变为运载状态时，操作者对设备3的监视器(未示出)进行直接工作。结果，使第一室4a的状态恢复至正常状态，即运载状态，并通过O/I PC2改变存储于主机1的第一室的状态数据。

之后，主机1继续在其数据库中存储设备3各个单元状态的变化。

但是，这种传统的控制系统存在几个问题。

其一，各单元状态经常变化，传统的控制系统的主机不能实时识别这些变化。这导致存储于主机数据库的单元状态数据与各单元的实际单元状态数据之间不一致。

其二，由于存储的单元状态数据与实际的单元状态数据之间不一致，主机不能准确地了解各单元的运行状态。结果，无法立即控制设备。

其三，在从主机收集到错误的单元状态数据的这种情况下，操作者可能会错误地计算设备的运行速率，并且把错误计算的运行速率反映至后续工艺。这样会导致对设备整个生产率的不准确控制。

其四，通过操作者对设备监视器的直接工作来改变单元状态。这样会导致控制设备的效率降低。

因此，本发明的目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，其中，通过利用包括在主机中的单元状态变化监视模块，对单元状态的变化实时地识别和控制，能够防止存储于主机的单元状态与实际的单元状态之间不一致。

本发明的另一目的在于提供一种在半导体制造设备中通过主机对各单元状态进行准确控制的方法，其中，利用单元状态变化监视模块准确地识别实际的单元状态，并根据识别的实际单元状态快速地更新存储于主机的单元状态。

本发明的又一目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，通过从主机收集与设备的实际单元状态一致的数据，能够准确地控制设备的整体生产率。

本发明的再一目的在于提供一种在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，通过使利用主机的间接计算工作来改变单元状态成为可能，能够明显提高控制设备的整体效率。

为了实现上述目的和其它优点，在半导体制造设备中对各单元状态进行控制的方法，包括以下步骤：当单元中发生预定的状态变化时，从设备接收单元的实际单元状态数据；从存储于数据库的状态数据中第一次搜索对应于该单元R存储的单元状态数据；比较实际的单元状态数据和存储的单元状态数据，并确定实际的单元状态数据中是否发生预定的变化；如果确定实际的单元状态数据中未发生预定变化，则继续接收实际单元状态数据，如果确定实际的单元状态数据中已发生预定变化，则根据实际单元状态数据的内容第一次更新存储的单元状态数据的内容。

在第一次更新存储的单元状态数据内容的步骤之后，该方法最好还包括以下步骤：确定是否输入了用于引入产品的预定信号；如果确定未输入用于引入产品的信号，则终止控制流程，如果确定输入了用于引入产品的信号，则识别引入了产品的单元，第二次搜索对应于该单元的存储的单元状态数据，并确定该单元是否处于其停载状态；如果确定该单元未处于其停载状态，则终止控制流程，如果确定该单元处于其停载状态，则显示预定的警告信息，停止处理。