[实用新型]砷化氢发生装置

权利要求书

1、一种砷化氢发生装置，其特征在于该装置包括发生瓶(6)、单向阀(14)、发生瓶接口(8)、注射针头(13)、电磁搅拌器(4)、蠕动泵(2)和定时控制电路(3)，其中电磁搅拌器(4)放置在发生瓶(6)的底部，发生瓶(6)内放有搅拌子(5)，所述发生瓶接口(8)上设有两个互不相通的载气导入支管(7)和砷化氢导出支管(9)，该发生瓶接口(8)与发生瓶(6)密封连接，发生瓶接口(8)上部由中心设有小孔(12)的外盖(11)通过密封垫(10)密封；单向阀(14)分别与蠕动泵(2)的吸液管(1)和注射针头(13)的针座相连，定时控制电路(3)与蠕动泵(2)相连。

2、按照权利要求1所述的装置，其特征在于所述的单向阀(14)为两头小中间大的柱形玻璃腔体，腔体内有一活动的玻璃塞，玻璃塞的一端为半球形磨砂面，与该半球形磨砂面相对应的腔体内表面亦为磨砂面。

3、按照权利要求1所述的装置，其特征在于所述的定时控制电路(3)包括定时器(15)、定时开关(16)、电阻(R₁、R₂)、电容(C₁、C₂)、三极管(T)和二极管(D)，其中定时器(15)、定时开关(16)、电阻(R₁、R₂)、电容(C₁、C₂)构成单稳态触发电路，定时器(15)的输出端串连限流电阻(R₃)后与三极管(T)的基极相连，三极管的发射极与电源负极相连，集电极与并连二极管(D)的蠕动泵(2)相连。