[实用新型]多功能高真空阀

权利要求书

1、一种多功能高真空阀，具有阀座、阀芯和真空规管，所述阀座具有气体通道，该气体通道的两端构成通道内口及通道外口，真空规管的前端裸露在阀座的气体通道内，真空规管的后端电极裸露于阀座之外，其特征是所述阀芯的前端伸入阀座气体通道的外口且将该通道外口封堵，所述阀芯的外壁与所述通道外口的内壁相配合，在阀芯与所述通道外口之间设置有弹性密封件。

2、如权利要求1所述的多功能高真空阀，其特征是所述真空规管固定于阀座上。

3、如权利要求1或2所述的多功能高真空阀，其特征是在阀座上固定有将阀芯的后端包覆的防护罩。

4、如权利要求1所述的多功能高真空阀，其特征是所述真空规管固定于阀芯上，该真空规管的前端伸出阀芯的前端而裸露于阀座的气体通道内，该真空规管的后端电极延伸出阀芯的后端而裸露于阀座之外。

5、如权利要求4所述的多功能高真空阀，其特征是在阀座上固定有将阀芯的后端和真空规管的后端电极同时包覆的防护罩。

6、如权利要求5所述的多功能高真空阀，其特征是所述防护罩以紧配合方式套置于阀座上。

7、如权利要求5或6所述的多功能高真空阀，其特征是在所述防护罩上开设有气孔。