[实用新型]板条型波导气体激光器

权利要求书

1.一种板条型波导气体激光器，其特征在于，包括：

一真空腔，腔内设置有如下部件：

一水冷却的射频输入板条状中间电极，

第一和第二两个水冷却的接地板条状电极，分设在所述中间电极两侧，

四个真空瓷条分设在所述中间电极和第一、第二两接地电极的两端，以在该中间电极和两接地电极之间构成一对矩形放电空间，

一个与所述中间电极相连的电极杆，该电极杆通过所述真空腔侧壁上的一绝缘孔与外接射频电源相连，

一凸面高反射率镜设置在所述第一接地电极和中间电极所构成的放电空间的外侧，其反射面朝向放电空间，

一凹面高反射镜设置在所述第二接地电极和中间电极所构成的放电空间的外侧，并与所述凸面高反射率镜位于所述三个电极的同侧，其反射面朝向放电空间，

两个高反射率镜作为折叠镜分别设在所述第一、第二接地电极和中间电极所构成的放电空间的另一外侧，其反射面分别朝向两放电空间，构成U形折叠耦合光路，

所述凸面高反射率镜、凹面高反射率镜和两个高反射率镜构成一偏轴虚共焦激光非稳腔。

2.如权利要求1所述的波导气体激光器，其特征在于：

两个所述高反射率折叠镜之一为一凹柱面反射镜，另一为平面反射镜，

所述凸面高反射镜为凸柱面反射镜，

所述凹面高反射镜为凸柱面反射镜。

3.如权利要求1、2中任一项所述的波导气体激光器，其特征在于

在所述凹面高反射率镜的反向输出光束处，设置一垂直于该光束的平面高反射率镜，其反射面朝向该输出光束，作为反馈反射镜。

4.如权利要求1、2和3中任一项所述的波导气体激光器，其特征在于：

沿电极长度方向，在所述中间电极和两个接地电极间两边分别交替跨接多个高电感值和低电感值电感，电感的数量Nf由下式确定：

Nf＝2*Lz/Df    

其中，Lz为增益长度，Lz是电极长度Ld的两倍；Df为相邻两电感间的间距，

电感值的大小由下式确定：

Lf＝ω_f²*Nf/(2*Cf)   (1)

Lc＝Kc*Lf             (2)

Lx＝Kx*Lf             (3)

Lf＝Lc+Lx             (4)

Kc＝0.55-0.65         (5)

Kx＝0.45-0.35         (6)式中：ω_f是射频气体放电频率，Df是相邻两电感间的间距，Cf是射频气体放电矩形波导空间的电容。Lf为每个电感的名义电感值，Lc为每个高电感的实际电感值，Lx为每个低电感的实际电感值。