[实用新型]板条型波导气体激光器

说明书

本实用新型涉及波导气体激光器，特别是关于一种后反馈折叠谐振腔双板条型波导气体激光器。

在现有技术中，由V.l.Myshen Kov和N.A.Yatsenko在1981年10月第11(10)期《量子电子学》上发表的“在激光器中采用高频电容放电的展望”(Sov.J.Quantum Electron.11(10).Oct.1981.“Prospets for using high-frequency capacitative discharges in lasers”)中，以及在美国专利US 4169251“高频横向放电激励波导气体激光器”(“Waveguide Gas Laser With HighFrequency Tansverse Discharge Excitation”)中，公开了高频放电激发板条型波导气体激光器的技术，这种激光器通过由一对金属板条状电极构成一个矩形的空间，在所述两电极间施加以射频电场，产生射频气体放电，形成一个矩形增益区，由于两电极间距较小，可利用扩散冷却的方式冷却气体放电区，与偏轴的虚共焦非稳腔相结合，实现一种单边端激光输出的紧凑型的扩散型冷却的气体激光器。这类激光器的结构如图10所示，其中各标号表示：1.真空腔，3.接地板条下电极，5.真空瓷绝缘条，7.矩形放电空间，8.射频输入电极杆，9.射频输入电极杆真空绝缘瓷套，10.射频匹配网络，11.射频源，20.射频输入板条上电极，21.真空瓷绝缘支撑杆，W.矩形放电空间宽度，X.矩形放电空间高度。实验研究发现：由于射频波是米波，且一对金属板条状电极构成一段传输线，特别是当气体放电时，这样一对金属板条状电极形成一段高损耗大漏电流的传输线，在两电极间形成沿纵向非均匀分布的放电等离子体，为获得有效的激光增益长度，使得电极长度受到限制，使得激光功率的进一步提高而同时保持激光器件的紧凑型受到限制。

此外在目前现有的技术中，如O.L.Bourae和P.E.Dyer在《光学通讯》第31卷，第2期，1979年11月所发表的“一种新型的用于稀有气体卤化物激光器光束控制的稳定-非稳定谐振腔”(《Optics Communications》Volume 31，number 2，“A Novel Stable-Unstable Resonator for Deamcontrol of Rare-gas Halide Lasers”)一文中，以及美国专利4719639“二氧化碳板条激光器”(“Carbon Dioxide Slab Laser”)中所公开的激光谐振腔，采用的是传统的偏轴的侧边光束输出的虚共焦非稳腔。在这种虚共焦非稳腔中，输出的激光束是无反馈放大的光束几何尺寸不断放大的传输光，反向传输的光束几何尺寸不断缩小的激光束没有有效地贡献给激光功率。

为克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供了一种新型结构的后反馈折叠谐振腔双板条波导气体激光器。

本实用新型的主要目的是提供一种折叠谐振腔双板条波导气体激光器，使得激光器结构更为紧凑。

本实用新型的又一个目的是在激光器谐振腔拆叠处采用凹柱面反射镜与平面反射镜相配合，实现低损耗的板条波导间模耦合，以提供一种高功率紧凑型的折叠谐振腔双板条波导气体激光器。

本实用新型的另一个目的是提供一种后反馈折叠谐振腔双板条波导气体激光器，以进一步提高激光器的输出功率。

本实用新型的再一个目的是通过在双板条激光器的中心电极和每个接地电极间分别跨接不等值的多个电感，以提供一种沿电极长度方向射频放电均匀的折叠谐振腔双板条波导气体激光器。

为达到上述各个目的和效果，本实用新型提供的折叠谐振腔双板条波导激光器有如下几种构成：