[发明专利]电抗匹配系统及方法

权利要求书

1.一种基片处理系统，包括：

一个处理室，在其中处理基片；

至少一个电源；

一个第一电学元件，与所述处理室中的某个区域耦合，该第一电学元件接收来自所述至少一个电源的电能；

一个第二电学元件，与所述处理室中的某个区域耦合，该第二电学元件接收来自所述至少一个电源的电能；

一个第一匹配网络，在所述至少一个电源和所述第一电学元件之间，该第一匹配网络将所述第一电学元件的阻抗与所述至少一个电源的阻抗进行匹配；

一个第二匹配网络，在所述至少一个电源和所述第二电学元件之间，该第二匹配网络将所述第二电学元件的阻抗与所述至少一个电源的阻抗进行匹配；

一个匹配网络控制器，连接到所述第一匹配网络和所述第二匹配网络，该匹配网络控制器用来控制所述第一匹配网络和所述第二匹配网络的操作。

2.如权利要求1所述的系统，还包括：

一个第三电学元件，与所述处理室中的某个区域耦合，该第三电学元件接收来自所述至少一个电源的电能；

一个第三匹配网络，在所述至少一个电源和所述第三电学元件之间，该第三匹配网络将所述第三电学元件的阻抗与所述至少一个电源的阻抗进行匹配；

所述匹配网络控制器连接到所述第三匹配网络并控制该第三匹配网络的操作。

3.如权利要求2所述的系统，其中，所述系统是一个等离子体处理系统，其中所述第一电学元件是一个静电吸盘，所述第二电学元件是一个偏压屏蔽，所述第三电学元件是一个电感线圈。

4.如权利要求1所述的系统，其中，所述匹配网络控制器首先选定所述第一和第二匹配网络中的某一个进行一次匹配操作，以便该选定的匹配网络在另一个匹配网络之前进行一次匹配操作。

5.如权利要求1所述的系统，其中，所述匹配网络控制器接收来自至少一个第一检测器和一个第二检测器的信号，其中，所述第一检测器提供的信号指示所述第一电学元件对于所述至少一个电源的匹配质量，所述第二检测器提供的信号指示所述第二电学元件对于所述至少一个电源的匹配质量，并且，所述匹配网络控制器执行一个计算操作，来根据来自所述第一和第二探测器的信号确定所述第一和第二匹配网络各自所需的调节量和调节方向，在执行了所述计算操作之后，所述匹配网络控制器对所述第一匹配网络进行调谐操作，并对所述第二匹配网络进行调谐操作。

6.如权利要求1所述的系统，其中，所述匹配网络控制器将所述第一匹配网络和所述第二匹配网络调节至一组预定的网络匹配条件，其中所述预定网络匹配条件组存储在一个存储器中。

7.如权利要求6所述的系统，其中，所述匹配网络控制器在一个存储器中存储有一系列预定的网络匹配条件组。

8.如权利要求6所述的系统，其中，所述匹配网络控制器根据测得的匹配质量修正所述预定网络匹配条件组，其中，所述在系统的操作过程中测得的匹配质量由至少一个检测器来测量。

9.如权利要求1所述的系统，其中，在等离子体激发之前，所述匹配网络控制器控制所述第一匹配网络，将其调节到一组匹配网络等离子体激发条件，在等离子体激发之后，所述匹配网络控制器控制所述第一匹配网络，将其调节到一组匹配网络等离子体维持条件。

10.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一匹配网络包括至少一个可变阻抗元件，并且有一个限位开关与该至少一个可变阻抗元件相连以防止该可变阻抗元件的可移动部件的过度位移，其中，所述可移动部件的位移用来改变所述可变阻抗元件的阻抗。

11.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一匹配网络包括一个可变阻抗元件，后者具有一个可移动部件用来改变所述可变阻抗元件的阻抗，所述系统还包括一个用来移动所述可移动部件的电动马达和一个用来控制该电动马达的开关电路，该开关电路包括一个第一开关、一个第二开关、一个第三开关和一个第四开关，其中，当所述第一和第四开关闭合时在第一个方向驱动所述马达，所述第二和第三开关闭合时在相反的第二方向驱动所述马达。