[发明专利]工件传送方法及系统无效
申请号: | 99100235.0 | 申请日: | 1999-01-22 |
公开(公告)号: | CN1224237A | 公开(公告)日: | 1999-07-28 |
发明(设计)人: | 近藤浩 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B65G1/00 |
代理公司: | 中科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 姜丽楼 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件 传送 方法 系统 | ||
1.一种工件传送方法,其特征在于,它包括如下步骤:
在分别为相应于处理条件的多个处理单元组(3a)设置的多个储存架(2)中临时存放被传送工件;
当储存架中存放的工件数量超出储存架的容量时,在另一个可用的储存架中存放从相应储存架中溢出的工件;以及
把存放在储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组中。
2.按照权利要求1所述的方法,其特征在于在另一储存架中存放工件的步骤包括在邻近容量已满的储存架的储存架中存放相应于容量已满的储存架的工件的步骤。
3.按照权利要求1所述的方法,其特征在于还包括一步骤:把由处理单元组处理过的工件传送到一个进行下一次处理的一处理单元组以及相应于进行下一次处理的处理单元组的储存架,而不是把工件存放在相应的储存架中。
4.按照权利要求1所述的方法,其特征在于在另一储存架中存放工件的步骤还包括如下步骤:
每当一工件被存放在储存架中时计算在相应的储存架中存放的工件的数量;以及
当代表工件存放数量的计数值达到储存架的容量时,在另一可用储存架中存放溢出的工件。
5.一种工件传送系统,其特征在于,它包括:
用于传送不同处理条件的工件的传送装置(6);
相应于多种处理设置并且由相互不同的处理条件的多个处理单元构成的多个处理单元组(3a);
为处理单元组的单元设置的用于临时存放相应于处理条件的被传送工件的多个储存架(2);以及
当存放在储存架中的工件的数量超出所述储存架的容量时,控制所述传送装置在另一可用的储存架中存放从所述相应的储存架中溢出的工件的传送控制装置(15)。
6.按照权利要求5所述的系统,其特征在于所述传送控制装置把存放在所述储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组。
7.按照权利要求6所述的系统,其特征在于系统还包括用于存储在所述储存架中存放的工件的处理条件和处理位置间的关系的存储装置(17),并且
所述传送控制装置参照所述存储装置控制在所述储存架中存放的工件的传送。
8.按照权利要求5所述的系统,其特征在于系统还包括用于计算在每一储存架中存放的工件的数量的计数装置(16),以及
当所述计数装置的计数值超出相应的储存架的容量时,所述传送控制装置控制把将要存放在容量已满的所述储存架中的工件传送到另一储存架中。
9.按照权利要求5所述的系统,其特征在于系统还包括:
用于连接所述储存架的工件装载侧的第一传送路径(7);以及
用于连接所述储存架和处理单元组之间连接点的第二传送路径(8),并且
所述传送控制装置控制所述传送装置以通过第二传送路径把由处理单元组处理的工件传送到进行下一次处理的一处理单元组及相应于进行下一次处理的所述处理单元组的储存架。
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