[发明专利]盘片移送机构

权利要求书

1．一种盘片移送机构，与托盘的进退连动、用于将已载放在上述托盘上的所述盘片设置在转台上，在沿所述进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间设置沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧，设置使因基台与上述托盘间的上述弹簧弹力引起的托盘移动减速的缓冲机构，其特征在于该缓冲机构由安装在上述托盘与沿进退方向支承此托盘的基台间、在上述托盘因所述弹簧弹力引起的托盘移动全过程中产生减速的第1缓冲器以及在将已设置在转台上的所述盘片转移到托盘上的过程中起作用的第2缓冲器构成。

2．一种盘片移送机构，设有与托盘的进退连动、可使已载放在所述托盘上的所述盘片在转台上装卸的转台升降的升降机构；设有在上述托盘的前端部上设置可沿托盘的进退方向自由滑动、对托盘的内端侧上施力、具有可与装载中的所述盘片的外周接触的定位突起的所述盘片承受构件；设有在载放在托盘上的所述盘片的中心孔已到达上述转台上方位置的时刻、所述盘片承受构件与固定侧接触并伴随向托盘内端侧移动、相对托盘前端侧移动，同时在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧；以及设有使因上述弹簧弹力引起的托盘在基台与上述托盘间的移动产生减速的缓冲机构；其特征在于所述缓冲机构由安装在上述托盘与沿进退方向支承此托盘的基台间、在上述托盘因所述弹簧弹力引起的托盘的移动全过程中产生减速的第1缓冲器以及与托盘的进退连动、安装在使转台升降的升降机构与沿进退方向支承上述托盘的基台间、在将已设置在转台上的所述盘片转移到托盘上的过程中起作用的第2缓冲器构成。

3．一种盘片移送机构，设有与托盘的进退连动、可使已载放在所述托盘上的所述盘片在转台上装卸的转台升降的升降机构；设有在上述托盘的前端部上设置可沿托盘的进退方向自由滑动、对托盘的内端侧上施力、具有可与装载中的所述盘片的外周接触的定位突起的所述盘片承受构件；设有在载放在托盘上的所述盘片的中心孔已到达上述转台上方位置的时刻、所述盘片承受构件与固定侧接触并伴随向托盘内端侧移动、相对托盘前端侧移动，同时在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧；以及设有使因上述弹簧弹力引起的托盘在基台与上述托盘间的移动产生减速的缓冲机构；其特征在于，所述缓冲机构由与安装在与沿进退方向支承托盘的基台上、从上述托盘的前端部直至内端部上形成第1齿条啮合的第1缓冲器以及与安装在上述基台上、仅在上述托盘的前端部上形成的第2齿条啮合的第2缓冲器构成。

4．根据权利要求1-3中任一权利要求的移送机构，其特征在于把沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧设置在基台上面的托盘的移动路经中，同时用设置在基台上的滚子来弯曲配置上述弹簧路径。

5．一种盘片移送机构与托盘进退连动、将已载放在上述托盘上的所述盘片设置在转台上，在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间设置沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧，其特征在于将此弹簧设置在基台上面的托盘移动路径中，同时用设置在基台上的滚子弯曲配置上述弹簧路径。