[发明专利]盘片移送机构

说明书

本发明涉及具有可装上、取出盘片的托盘的盘片移送机构。

日本专利特开昭63-191361号公报上记载的盘片移送机构具有在从装置本体拉出的盘片拉出位置和送入装置内部的位置间水平移动的托盘和设于此托盘上载放盘片用的盘片保持体。

此外，在装置本体上设置旋转驱动盘片的转台、在此转台上夹持盘片的夹持器、光拾波器以及使此光拾波器沿盘片的径向移动的横移机构等。

将托盘与盘片保持体的关系构成在上述托盘进行水平移动且在已载放在盘片保持体上的盘片的中心孔来到转台跟前位置、托盘进而向内端水平移动时，盘片保持体开始面向转台下降，实行盘片向设于固定侧上的转台上的转移(装载)，用转台与夹持器将盘片夹持。

此外，在特开昭63-191361号公报中，用弹簧的弹力将托盘压出、将盘片送出，为了不使托盘因此弹簧的弹力被急速压出而安装缓冲器。

在上述传统的盘片移送机构中，通过安装缓冲器使托盘的压出被减速，容易发生从转台9取出的盘片不能向托盘的正常位置上转移的状态，盘片的装卸可靠性低。

因此，本发明目的在于提供使作为移动侧的托盘结构简单、即使在用弹簧弹力将托盘按压返回场合。也能使盘片的装卸可靠性高的盘片移送机构。

本发明盘片移送机构的特点是使托盘移动减速的缓冲机构由安装在托盘与沿进退方向支承此托盘的基台间、在上述托盘因弹簧弹力引起的托盘移动全过程中产生减速的第1缓冲器以及在把已设置在转台上的盘片转移到托盘上的过程中起作用的第2缓冲器构成。

据此结构，能实现盘片装卸可靠性高的盘片移送机构。

根据本发明的盘片移送机构，是与托盘的进退连动、用于将已载放在上述托盘上的所述盘片设置在转台上，由于是在沿所述进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间设置沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧，设置使因基台与上述托盘间的上述弹簧弹力引起的托盘移动减速的缓冲机构，该缓冲机构由安装在上述托盘与沿进退方向支承此托盘的基台间、在上述托盘因所述弹簧弹力引起的托盘移动全过程中产生减速的第1缓冲器以及在将已设置在转台上的所述盘片转移到托盘上的过程中起作用的第2缓冲器构成，因取出盘的动作开始时的托盘与升降机构动作缓慢能实现更稳定的动作。

此外，根据本发明的盘片移送机构，由于设有与托盘的进退连动、可使已载放在所述托盘上的所述盘片在转台上装卸的转台升降的升降机构；设有在上述托盘的前端部上设置可沿托盘的进退方向自由滑动、对托盘的内端侧上施力、具有可与装载中的所述盘片的外周接触的定位突起的所述盘片承受构件；设有在载放在托盘上的所述盘片的中心孔已到达上述转台上方位置的时刻、所述盘片承受构件与固定侧接触并伴随向托盘内端侧移动还相对托盘前端侧移动，同时又在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧；以及设有使因上述弹簧弹力引起的托盘在基台与上述托盘间的移动产生减速的缓冲机构；所述缓冲机构由安装在上述托盘与沿进退方向支承此托盘的基台间、在上述托盘因所述弹簧弹力引起的托盘的移动全过程中产生减速的第1缓冲器以及与托盘的进退连动、安装在使转台升降的升降机构与沿进退方向支承上述托盘的基台间、在将已设置在转台上的所述盘片转移到托盘上的过程中起作用的第2缓冲器构成，通过仅在托盘上设置结构简单的盘片承受构件能实现与具有传统那样结构复杂托盘的机构同样的稳定地进行盘片装卸的功能。此外，由于在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间设置沿着从基台将托盘压出方向施力的弹簧，以及使因基台与上述托盘间的上述弹簧弹力引起的托盘移动产生减速的缓冲机构，尽管是用弹簧弹力送出盘片，也能以正确姿势可靠地将盘片从转台转移到托盘上。

此外，根据本发明盘片移送机构，由于设有与托盘的进退连动、可使已载放在所述托盘上的所述盘片在转台上装卸的转台升降的升降机构；设有在上述托盘的前端部上设置可沿托盘的进退方向自由滑动、对托盘的内端侧上施力、具有可与装载中的所述盘片的外周接触的定位突起的所述盘片承受构件；设有在载放在托盘上的所述盘片的中心孔已到达上述转台上方位置的时刻、所述盘片承受构件与固定侧接触、并伴随向托盘内端侧移动还相对托盘前端侧移动，同时又在沿进退方向支承上述托盘的基台与上述托盘间沿着将托盘从基台压出方向施力的弹簧；以及设有使因上述弹簧弹力引起的托盘在基台与上述托盘间的移动产生减速的缓冲机构，所述缓冲机构由与安装在沿进退方向支承托盘的基台上、从上述托盘的前端部直至内端部上形成第1齿条啮合的第1缓冲器以及与安装在上述基台上、仅在上述托盘的前端部上形成的第2齿条啮合的第2缓冲器构成，因在送出盘片动作开始时的托盘与升降机构的动作减缓，能实现更稳定的动作。