[发明专利]用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备

权利要求书

1．一种喷镀设备，用以在真空室内在受基片夹具夹持的基片上形成喷镀薄膜，具有：

一个对电极；

一防镀片，设在所述对电极和所述基片夹具之间；

一基片夹具传送机构；和

一移动机构，用以移动所述基片夹具传送机构以改变所述基片和所述防镀片之间的距离。

2．按权利要求1所述喷镀设备，其中：

所述移动机构包括

一驱动力发生装置，设在真空室外边，

一驱动力引入机构，与所述驱动力发生装置连接，和

一基片夹具移动机构，与所述驱动力引入机构连接。

3．按权利要求2所述喷镀设备，其中：

所述基片夹具传送机构具有一螺纹孔，和

所述基片夹具移动机构包括一球螺纹，与所述驱动力引入机构连接，并与所述螺纹孔啮合。

4．按权利要求1所述喷镀设备，其中：

所述防镀片具有一定位销，和

所述基片夹具具有一定位孔，在其内插入所述定位销。

5．一种喷镀设备，用以在真空室内在受基片夹具夹持的基片上形成喷镀薄膜，具有：

一个对电极；

一防镀片，设在所述对电极和所述基片夹具之间；和

一移动机构，用以移动所述防镀片以改变所述基片和所述防镀片之间的距离。

6．按权利要求5所述喷镀设备，其中：

所述移动机构包括

一驱动力发生装置，和

一驱动力传递体，与所述驱动力发生装置连接。

7．按权利要求6所述喷镀设备，其中：

所述防镀片包括

一固定部分，固定在所述对电极的一侧上，和

一可动部分，固定在所述驱动力传递体上。

8．按权利要求7所述喷镀设备，其中：

所述固定部分设在从所述对电极观察时所述可动部分的前面。

9．按权利要求7所述喷镀设备，其中：

所述可动部分设在从所述对电极观察时所述固定部分的前面。

10．按权利要求6所述喷镀设备，其中：

所述驱动力传递体具有一定位销，和

所述基片夹具具有一定位孔，所述定位销插在其中：

11．按权利要求5所述的喷镀设备，其中：

所述防镀片围绕一转动轴可转动地设置，所述防镀片包括贴靠在所述基片夹具上的一定位销。

12．按权利要求6所述喷镀设备，其中：

一用以循环冷却水的冷却水孔形成在所述驱动力传递体的内部。