[发明专利]梯型压电滤波器

权利要求书

1．一种梯形压电滤波器，其特征在于包含：

适合于以纵向振动模式振动的串联谐振器，每一个所述串联谐振器包含压电谐振器，所述压电谐振器具有一对相对设置的主表面，以及一对分别设置在所述主表面上的电极；及

适合于以方形振动模式振动的并联谐振器，每一个所述并联谐振器包含压电谐振器，所述压电谐振器具有一对相对设置的主表面，以及一对分别设置在这对主表面上的电极；所述串联谐振器和所述并联谐振器彼此连接形成梯形电路，其中

一对分别设置在每一个串联谐振器的一对凹槽，位于相对大致上垂直于各个串联谐振器的纵向的中心线对称的位置，从而这对凹槽沿大致上平行于各个串联谐振器的中心线的方向延伸，并分割一个主表面上的电极，由此调节分别设置在各个串联谐振器这对主表面上的这对电极之间的电容。

2．如权利要求1所述的梯形压电滤波器，其特征在于每一个所述串联谐振器大致上为矩形，并具有大于宽度的长度。

3．如权利要求1所述的梯形压电滤波器，其特征在于每一个所述并联谐振器大致上为方形，并且具有大致上等于宽度的长度。

4．如权利要求1所述的梯形压电滤波器，其特征在于所述每一个串联谐振器包括压电基片，和设置在压电基片上的电极，其中凹槽延伸通过所述电极。

5．如权利要求4所述的梯形压电滤波器，其特征在于凹槽延伸进入所述压电基片中。

6．如权利要求4所述的梯形压电滤波器，其特征在于所述凹槽大致上平行于所述压电基片的相对的边缘延伸。

7．如权利要求4所述的梯形压电滤波器，其特征在于凹槽沿所述压电基片的整个宽度延伸。

8．如权利要求4所述的梯形压电滤波器，其特征在于凹槽位于所述压电基片的相对端区域，并和所述压电基片的相对的边缘分开大致上相等的距离。

9．如权利要求1所述的梯形压电滤波器，其特征在于第一串联谐振器中的凹槽与第二串联谐振器中的凹槽对准排列。

10．如权利要求1所述的梯形压电滤波器，其特征在于由导电材料制成的支持部件设置在串联谐振器的设置有凹槽的一个主表面上的电极上，或设置在串联谐振器另一个主表面上，位于电极沿纵向的大致上的中心位置，从而支持部件沿大致上平行于与串联谐振器的纵向大致上垂直的中心线的方向延伸。

11．一种制造梯形压电滤波器的方法，其特征在于包含步骤：

形成基片；

在所述基片的第一主表面上形成第一电极；

在所述基片的第二主表面上形成第二电极；

在第一主表面中形成凹槽，从而凹槽沿大致上相互平行的方向延伸；及

沿大致上平行，并垂直于凹槽的线切割所述基片，以形成滤波器单元。

12．如权利要求11所述的方法，其特征在于还包含步骤：在切割基片步骤之前，先在基片的第二主表面上形成支持部件。

13．如权利要求12所述的方法，其特征在于所述支持部件沿大致上平行于所述凹槽的方向延伸。

14．如权利要求11所述的方法，其特征在于基片用于产生多个串联谐振器，所述方法还包含步骤：

设置罩子；

形成适合于以方形振动模式振动的并联谐振器，每一个并联谐振器包含压电谐振器，所述压电谐振器具有一对相对设置的主表面，以及一对分别设置在主表面上的电极；

在罩子中叠堆串联谐振器其和并联谐振器；

使所述串联谐振器和所述并联谐振器相互连接，从而形成梯形电路；其中

所述每一个串联谐振器包含一对分别设置在串联谐振器的第一主表面上的凹槽，位于相对大致上垂直于所述各个串联谐振器的纵向的中心线的对称的位置，从而这对凹槽沿大致上平行于各个串联谐振器的中心线的方向延伸，并分开一个主表面上的电极，由此调节分别设置在各个串联谐振器的这对主表面上的电极之间的电容。

15．如权利要求14所述的方法，其特征在每一个所述串联谐振器大致上为矩形，并具有大于宽度的长度。

16．如权利要求14所述的方法，其特征在于所述并联谐振器为方形，并且具有大致上等于宽度的长度。