[发明专利]降低半导体功率器件结温的工艺流程无效
申请号: | 99117069.5 | 申请日: | 1999-09-08 |
公开(公告)号: | CN1287385A | 公开(公告)日: | 2001-03-14 |
发明(设计)人: | 李寿华 | 申请(专利权)人: | 广州市高科通信设备有限公司 |
主分类号: | H01L23/36 | 分类号: | H01L23/36;H05K7/20 |
代理公司: | 广东专利事务所 | 代理人: | 李潮瑞 |
地址: | 510630 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降低 半导体 功率 器件 工艺流程 | ||
1、一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特特征在于将半导体功率器件的散热器的安装面先用铣床,后用磨床进行机械加工,随后用铝材化学研磨剂进行化学研磨,上述完成后,将导热绝缘片两面涂上硅脂,半导体功率器件安装面涂上硅脂,三个零件固定在一起,送入烘箱高温去潮,去潮后,立即对半导体器件喷三防材料,室温贮存1-4小时,半导体功率器件表面出现一层保护膜。
2、根据权利要求1所述的一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特征在于,铣床加工时,铣20丝至200丝,磨床磨3丝至50丝。
3、根据权利要求1所述的一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特征在于,化学研磨时间:30分钟至4小时。
4、根据权利要求1所述的一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特征在于,烘箱高温去潮过程,温度70℃-150℃,时间20分钟-2小时。
5、根据权利要求1所述的一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特征在于,高温去潮后,立即对功率器件喷三防材料,室温贮存时间2小时-3小时,功率器件表面出现一种薄膜。
6、根据权利要求1所述的一种降低半导体功率器件结温的工艺流程,其特征在于,所叙的机械加工的光洁度为8级-12级。
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