[发明专利]加热蒸发制备超微粉的方法和设备

权利要求书

1.一种加热蒸发制备超微粉的方法，其特征在于：将蒸发室抽真空至1×10¹-1×10^-5Pa，用加热设备加热用于制备超微粉的原料，在此期间，引入激光作用于原料表面，使其加速熔化和汽化，蒸发出来的蒸汽冷凝形成超微粉。

2.根据权利要求1所述的加热蒸发制备超微粉的方法，其特征在于：在蒸发室抽真空后，引入惰性气体，使蒸发室的压力达到并维持在1×10¹-1×10⁵Pa，再进行下续步骤。

3.根据权利要求1所述的加热蒸发制备超微粉的方法，其特征在于：在蒸发室抽真空后，引入反应性气体，使蒸发室的压力达到并维持在1×10¹-1×10⁵Pa，再进行下续步骤。

4.根据权利要求1所述的加热蒸发制备超微粉的方法，其特征在于：在蒸发室抽真空后，引入惰性气体和反应性气体，使蒸发室的压力达到并维持在1×10¹-1×10⁵Pa，再进行下续步骤。

5.一种用于权利要求1方法的蒸发室装置，包括容器和位于该容器内的加热设备和原料加热区，其特征在于：在所述的容器的壁上开有激光进口，所述的原料加热区上方设置有金属管，该金属管固定在所述容器的壁上并与粉末捕集器相连。

6.根据权利要求5所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的加热设备为感应加热器。

7.根据权利要求5所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的加热设备为电阻加热器。

8.根据权利要求5所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的加热设备为电弧加热器。

9.根据权利要求5所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的金属管外表面安置有冷却装置。

10.根据权利要求5、6、7、8或9所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的原料加热区设置有坩埚，在所述容器的壁上开有进料口，原料通过该进料口进入所述的坩埚。    

11.根据权利要求10所述的蒸发室装置，其特征在于：在所述的金属管的下端装有防辐射罩，并与所述的金属管相通，该防辐射罩上开有激光通孔和原料通孔。

12.根据权利要求11所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的防辐射罩采用球面外形设计。

13.根据权利要求12所述的蒸发室装置，其特征在于：在所述的容器壁上开有气体进口。

14.根据权利要求5、6、7、8或9所述的蒸发室装置，其特征在于：在所述的容器壁上开有一个进料口，原料通过该送料口送入所述的原料加热区。

15.根据权利要求14所述的蒸发室装置，其特征在于：在所述的金属管的下端装有与其相通的防辐射罩，该防辐射罩上开有激光通孔。

16.根据权利要求15所述的蒸发室装置，其特征在于：所述的防辐护罩采用球面外形设计。

17.根据权利要求16所述的蒸发室装置，其特征在于：在所述的容器壁上开有气体进口。